參考價格
面議型號
BTF-1200C-CVD 磁力拉桿品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽樣本
暫無非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛:
真空溫控精度:
±1℃最高溫度:
1200℃額定溫度:
1100℃看了磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設(shè)備的用戶又看了
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主要特點
此設(shè)備特點是將硫粉放于左端冷區(qū),當硫化過程開始時利用拉桿式將硫粉推進熱場??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作。同樣也適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗。
技術(shù)參數(shù)
爐管尺寸: | 外徑Φ25/50/60/80/100*1000mm(可選) | |
極限溫度: | 1200℃ | |
工作溫度: | ≤1100 ℃ | |
溫度控制器: | PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器 | |
升溫速率: | ≤50℃/min | |
加熱區(qū): | 200+200mm | |
恒溫區(qū): | 100+100mm | |
控溫精度: | ±1 ℃ | |
電源: | 單相220V,交流50Hz | |
3路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) (觸摸屏控制) | **電壓: | 185~245V/50Hz |
**輸出功率: | 18W | |
流量計標準量程: | 100 ,200,500SCCM (非特殊指定以氮氣標定,量程可選定) | |
工作溫度: | 5~45 oC | |
工作壓差: | 0.1~0.5 MPa | |
**壓力: | 3MPa | |
準確度: | ±1.5% FS | |
低真空系統(tǒng) | 抽速: | 8.11 m3/h |
極限總壓: | 3×10-3 mabr | |
進排氣口: | DN 25 KF | |
噪音 (氣鎮(zhèn)開關(guān)時,距離1米處測量) | 54 dB | |
注油量: | 0.7- 1.1 L | |
重量: | 21 Kg | |
工作溫度: | 10~40 ℃ | |
功率: | 550W |
暫無數(shù)據(jù)!
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