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真空等離子清洗設(shè)備由電器控制及操作系統(tǒng)、真空腔室、供氣系統(tǒng)、13.56MHz射頻電源、真空泵等部分組成。利用等

離子體活潑的物理化學電磁流體特性，可以實現(xiàn)一系列傳統(tǒng)濕法外理所不能實現(xiàn)的反應(yīng)過程和處理效果，具有產(chǎn)生速度

快、能量高、無污染、處理對象廣泛、整體成本低、無需干燥處理，占用空間小等特點。

真空等離子清洗設(shè)備產(chǎn)品特點:

4射頻電源功率選擇為0到600W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負載阻抗，以保證**的等

離子密度和可重復性。

電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在直空腔體

中，整個電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得*合適的等離子體。

供氣系統(tǒng)采用高精度流量計來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時采用高穩(wěn)定性的直空泉來實現(xiàn)廢氣的均衡排放。

+高可靠性和穩(wěn)定性，高效的功率輸出，緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，體積小，重量輕，完善的保護功能等特點.

◆前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進氣孔，以便于形成動態(tài)循環(huán)、均勻進氣提高清洗的效果。

兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。

真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強，低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工

性好，無磁性。