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IXRF成立于1993年，位于美國(guó)德克薩斯州，專(zhuān)注于精確地微區(qū)痕量元素分析產(chǎn)品，包括能譜儀（EDS）和X射線熒光（XRF）。
本產(chǎn)品是把高性能的微型X射線管（兩種可選）安裝在SEM上，利用能譜儀探測(cè)器來(lái)接受信號(hào)，從而將XRF整合進(jìn)SEM+EDS系統(tǒng)中，結(jié)合了EDS和XRF兩者的優(yōu)勢(shì)，使其在元素分析方面有自己的獨(dú)特之處，XRF分析具有對(duì)樣品無(wú)破壞、可直接分析不導(dǎo)電樣品、靈敏度更高，能實(shí)現(xiàn)PPM量級(jí)分析等優(yōu)點(diǎn)，這是其它能譜產(chǎn)品所不具有的。這種SEM+EDS+XRF的元素分析方案目前已經(jīng)在美國(guó)得到廣泛推廣和應(yīng)用。
★更高的峰背比，重疊峰少，靈敏度是EDS的10-1000倍，可以實(shí)現(xiàn)PPM級(jí)的痕量分析。
★兩種型號(hào)的X射線管，很好的兼容性，可以與任意廠家的能譜探測(cè)器搭配。
兩種X射線發(fā)生器參數(shù)：
| X射線管 | fX-SEMTM | X-BeamTM |
| 陽(yáng)極類(lèi)型 | 底窗穿透型 | 側(cè)窗型 |
| 靶材料 | Ag， Mo， & W | Ag， Cu， Mo， Rh & W |
| 加速電壓 | 10-35kV | 0-50kV |
| 束流 | 0-100μA | **1mA |
| 陽(yáng)極束斑大小 | <500μm | 10， 40μm |
| 準(zhǔn)直器大小 | 200μm， 500μm， 1000μm(或其他) | **的多毛細(xì)管聚焦光學(xué)系統(tǒng) |
| 濾波片 | 根據(jù)需求可安裝 | 根據(jù)需求可安裝 |
| 冷卻需求 | 傳導(dǎo)冷卻，不用風(fēng)冷 | 功率>10瓦時(shí)，風(fēng)冷；其余傳導(dǎo)冷卻 |
| 控制性/安全性 | 可控kV/μA、X射線開(kāi)關(guān)、kV/μA顯示；與SEM互鎖、鍵控電源開(kāi)關(guān)、與高壓電源互鎖、高壓警示 | 可控kV/μA、X射線開(kāi)關(guān)、kV/μA顯示、內(nèi)部互鎖閥；鍵控電源開(kāi)關(guān)、高壓警示 |
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