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STP-iXR1606系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)**的性能，機(jī)載控制裝置中包含**技術(shù)的小型電源供給。其設(shè)計(jì)理念與STP-iXA2206/iXA3306系列相同。**開發(fā)的革命性轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)提高了抽取性能，這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。
應(yīng)用
玻璃涂層
太陽能PVD
工業(yè)濺射
特性與優(yōu)勢(shì)
泵和控制器之間不需要連接電纜。 消除了傳統(tǒng)架裝式控制器的安裝空間和成本。
緊湊型設(shè)計(jì)使安裝更加方便，占地面積更小。 與STP-A1603配套時(shí)在8” TMP同類產(chǎn)品中抽速**。 使高氣體流速領(lǐng)域的功耗降低了32%。 標(biāo)配端口包括I/O遠(yuǎn)程、RS232C、RS485、STP-Link
可選配Profibus和DeviceNet
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭尺寸 | VG200/VG250 | VG150 |
ISO200F/ISO250F | ISO160F | |
ICF253/ICF305 | ICF203 | |
前級(jí)抽氣口尺寸 | KF40 | KF40 |
抽速 | ||
N2 | 1600 ls-1 | 900 ls-1 |
H2 | 1200 ls-1 | 600 ls-1 |
壓縮比 | ||
N2 | >108 | >108 |
H2 | 1 x 103 | 1 x 103 |
極限壓力 | 10-7Pa (10-9Torr) | 10-7Pa (10-9Torr) |
允許的前級(jí)壓力 | 266 Pa (2 Torr) | 266 Pa (2 Torr) |
**氣流N2（僅水冷） | 4700 sccm | 4700 sccm |
(7.94 Pam3s-1) | (7.94 Pam3s-1) | |
**氣流Ar（僅水冷） | 1800 sccm | 1800 sccm |
(3.04 Pam3s-1) | (3.04 Pam3s-1) | |
額定速度 | 36，500 rpm | 36，500 rpm |
啟動(dòng)時(shí)間 | 8 min | 8 min |
固定位置 | 任何方向 | 任何方向 |
輸入電壓 | 200至240 (± 10) V交流 | 200至240 (± 10) V交流 |
**輸入功率 | 750 VA | 750 VA |
重量 | 48 kg | 48 kg |
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