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SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，綜合UHV / SIMS 設備，進行高級的表面分析。可靠的、普遍適用的SIMS分析工作站。
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·各類型樣品的快速轉向
·陰、陽離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀
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·基本的激發(fā)源選擇：帶差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液態(tài)鎵槍·快速樣品傳遞，樣品固定，負載鎖定的操縱器·4 軸：X， Y， Z， θ UHV 操縱器，以**定位樣品·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，進行SIMS元素成像·靜態(tài)SIMS譜圖庫可用
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