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Pioneer 300圓晶表面分析系統(tǒng)是專為控制 300mm半導(dǎo)體圓晶加工質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)的；它能夠
快速，準(zhǔn)確地測得接觸角和表面能，并評價(jià)粘著，潔凈和表面處理。
典型應(yīng)用：
-評價(jià)表面清潔處理
-圓晶表面處理
-有機(jī)污染檢查
-為附膠和底漆準(zhǔn)備
-涂層均一，質(zhì)量保證
技術(shù)參數(shù)：
-電源：220V，50/60Hz
-**樣品尺寸：300mm圓晶(適用4/6/8/12"圓晶）
-**樣品厚度：10mm
-聚焦：6.4fold
-焦距：內(nèi)部，+/-6mm
-resolution:768*576 NTSC，16M color
-moving type: 自動映像（X-，Y-，Z-及旋轉(zhuǎn)）
-dispenser type: 自動注射器系統(tǒng)
-接觸角范圍：5-180度
-光源：后置燈，鹵素?zé)?
-評價(jià)方法：接觸角/表面能
-操作系統(tǒng)：Windows XP/2000
主要特點(diǎn)：
-配合300MM(12")圓晶的旋轉(zhuǎn)臺。
-圓晶自動映像顯示系統(tǒng)
-全自動電腦圖像分析及數(shù)據(jù)計(jì)算
-簡單，快速操作
-可測試接觸角及表面能
-2維和3維表面分析
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