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儀器簡(jiǎn)要介紹：

Technoorg 出品的Gentle Mill系列產(chǎn)品可用于*終拋光、很容易對(duì)先前在標(biāo)準(zhǔn)高能離子減薄儀上或FIB上處理過(guò)的樣品進(jìn)行清潔及改善性能。推薦用戶選擇Gentle Mill型號(hào)來(lái)進(jìn)行樣品制備

• 無(wú)合成產(chǎn)物

• 幾乎無(wú)損壞

**質(zhì)量的XTEM（截面透射電鏡），HRTEM（高分辨透射電鏡）或STEM（掃描透射電鏡）樣品制備。

這些配置的離子減薄儀也可適用于對(duì)磨凹（凹坑）處理過(guò)的或薄的（< 25 μm）、平面的、被機(jī)械拋光的樣品進(jìn)行快速減薄。

技術(shù)參數(shù)：

主要技術(shù)參數(shù)：

離子能量：100 - 2000 eV，連續(xù)可調(diào)

離子電流密度：**10 mA/cm2

離子束流：7 - 90 uA，連續(xù)可調(diào)

離子束直徑：750 - 1200 um (FWHM)

減薄速率：2000 eV離子能量及30度離子束入射角時(shí)，c-Si上的減薄速率為28 um/h

樣品臺(tái)

減薄角度：0 - 45°，電子調(diào)節(jié)步長(zhǎng)為0.1°

計(jì)算機(jī)控制樣品平面旋轉(zhuǎn)

搖擺（0- 120°角度范圍，電子調(diào)節(jié)步長(zhǎng)為10°）

出眾的厚度范圍：涵蓋TEM樣品厚度（30 - 200 um）

主要特點(diǎn)：

主要特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：

Gentle Mill溫和型低能離子減薄儀（型號(hào)IV5/IV8）為***的制備高質(zhì)量TEM/FIB樣品的離子減薄工作站

● ***的低能離子源：Gentle Mill離子束工作站所用的熱陰極低能離子源，具有令人矚目的**技術(shù)。極其低能量的離子束確保使表面損壞及離子束誘導(dǎo)的無(wú)定形物減至*小限度。獨(dú)特的離子源結(jié)構(gòu)允許高離子束電流密度。所有離子槍參數(shù)包括加速電壓及陰極電流由數(shù)字反饋回路全自動(dòng)控制，但它們?cè)跇悠分苽溥^(guò)程中也可手動(dòng)進(jìn)行改變。離子源參數(shù)的初始值既可自動(dòng)也可手動(dòng)設(shè)置，并可在電腦顯示屏中連續(xù)顯示。

● 無(wú)合成產(chǎn)物的樣品制備：Gentle Mill在低能量離子轟擊時(shí)對(duì)樣品無(wú)損壞的獨(dú)特能力，在應(yīng)用科學(xué)及材料研究領(lǐng)域中，給用戶提供了研究合成材料及自然材料中真實(shí)納米結(jié)構(gòu)的**工具。

● 對(duì)TEM/FIB樣品進(jìn)行清潔及后處理的快速、可靠的方法

● 獨(dú)立用戶模式，帶有預(yù)編程設(shè)置的自動(dòng)操作：第三代Gentle Mill 3（型號(hào)IV8）為全計(jì)算機(jī)控制，通過(guò)易使用的圖形界面操作。所有減薄參數(shù)包括離子源的設(shè)置、氣流量控制、其它減薄參數(shù)如樣品移動(dòng)及傾斜角度的設(shè)置、穿孔檢測(cè)等可以被貯存，或以任意步數(shù)進(jìn)行預(yù)編程。這種全自動(dòng)特點(diǎn)減少了人為干預(yù)，可制備高質(zhì)量的樣品。自動(dòng)終止功能為圖像分析模塊支持的減薄過(guò)程的光學(xué)終止（探測(cè)樣品穿孔或監(jiān)視樣品表面形貌）。Gentle Mill 3配有軟件擴(kuò)展功能，可實(shí)現(xiàn)在線技術(shù)支持，通過(guò)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行即時(shí)故障偵測(cè)及問(wèn)題排除。

● 樣品進(jìn)樣系統(tǒng)：真空裝載鎖定系統(tǒng)，可進(jìn)行快速樣品更換；全機(jī)械、無(wú)膠合樣品裝載機(jī)構(gòu)；對(duì)XTEM樣品特別設(shè)計(jì)的鈦框架及封裝技術(shù)

● 可應(yīng)用于工業(yè)環(huán)境研究

● 專門(mén)設(shè)計(jì)，可直接用于Hitachi的FIB-STEM/TEM系統(tǒng)3D樣品托：基于Hitachi的FIB/STEM 和Technoorg的Gentle Mill 離子束工作站，Hitachi 與Technoorg合作共同提供了一個(gè)完整方案用于特定要求低損壞樣品的制備。半自動(dòng)和全自動(dòng)的Gentle Mill型號(hào)具有低能量離子減薄及清潔能力，可用于FIB樣品制備的*后步驟來(lái)去除無(wú)定形物或損壞的表面層。這些型號(hào)可允許直接插入Hitachi的3D FIB/STEM樣品桿，因而樣品制備時(shí)間可大大地減少。

● 分類： Gentle Mill（型號(hào)為IV5），為計(jì)算機(jī)控制的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)；Gentle Mill 3（型號(hào)為IV8），為全自動(dòng)型號(hào)；Gentle Mill Hi and Gentle Mill 3 Hi為與Hitachi FIB/STEM系統(tǒng)兼容的型號(hào)。