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        科晶+真空CVD系統(tǒng)+ OTF-1200X-HVC
        科晶+真空CVD系統(tǒng)+ OTF-1200X-HVC

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        安徽

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        暫無
        上海繪吉電子科技有限公司

        會員

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        第2年

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        OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其**工作溫度可達1200℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內(nèi)部。

        技術參數(shù)
        OTF-1200X系列 管式爐殼體結構

        ● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷.使得殼體表面的溫度小于60度

        ●內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

        爐管

        ● 材質(zhì): 高純石英管

        ● 石英管包含在內(nèi)

        ● 可以選擇其他管徑

        功率2.5KW
        工作電壓AC 208-240V 單相, 50/60Hz
        加熱元件Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,**程度的延長加熱元件的使用壽命)
        工作溫度

        ● **工作溫度.: 1200°C

        ● 連續(xù)工作溫度: 1100°C

        加熱速率加熱速率: 1~20°C/min 可編程
        加熱區(qū)長度

        ● 總加熱區(qū)長度: 440mm

        ● 恒溫區(qū)長度. : 150mm (±1°C)注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系

        控溫系統(tǒng)

        ● PID自動控制方式,可設置30段升降溫程序

        ●控溫儀表操作視頻

        ● 控溫精度: ±1°C

        ● 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

        真空密封

        ● 一對不銹鋼真空密封法蘭,已經(jīng)安裝

        ● 法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表

        ● 一對精密針閥

        ● KF-40 的抽氣接口

        功率100~110W
        工作電壓AC 208-240V , 50/60Hz
        高真空機組殼體

        ● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

        ● **承載量:600 Lbs on topf

        ● 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示

        ● 內(nèi)裝有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

        抽氣速率

        ● N2 33 L/s

        ● He 39 L/s (2340L/minute)

        ● H2 32 L/s

        工作范圍1000 mbar to <1E-7 mbar
        極限<1E-8 mbar (無泄漏)
        質(zhì)量流量控制器殼體

        ● 采用 316不銹鋼制作

        ● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm

        ● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

        功率18W
        工作電源AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz
        開門斷電

        為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計

        質(zhì)保期一年質(zhì)保期,相關耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件
        質(zhì)量認證● CE 認證

        所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認證

        若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證

        使用注意事項:

        爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

        由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

        當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

        進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

        石英管的長時間使用溫度<1100℃

        對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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        售后服務

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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