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| 貨號(hào)： | LiteScope™ |
| 供應(yīng)商： | 廣州科適特科學(xué)儀器有限公司 |
| 現(xiàn)貨狀態(tài)： | 三個(gè)月 |
| 保修期： | 一年 |
| 數(shù)量： | 不限 |
| 規(guī)格： | LiteScope™ |
LiteScope™的設(shè)計(jì)還使其可以與其他SEM配件結(jié)合使用聚焦離子束（FIB）或氣體注入系統(tǒng)（GIS）用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面改性。在這種組合中，LiteScope™可對(duì)制造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速簡(jiǎn)便的3D檢測(cè)。
此外，LiteScope™開(kāi)辟了一個(gè)全新的測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)相關(guān)顯微鏡，即所謂的相關(guān)探針和電子顯微鏡（CPEM）。 CPEM技術(shù)是市場(chǎng)上首創(chuàng)的技術(shù)。它可以在同一個(gè)地方進(jìn)行SPM和SEM測(cè)量，同時(shí)，使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)。只有CPEM技術(shù)才能為您帶來(lái)SPM和SEM技術(shù)相關(guān)成像的全部?jī)?yōu)勢(shì)。
特點(diǎn)
LiteScope™可提高性能的SEM升級(jí)
可作為現(xiàn)有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用
獨(dú)特的相關(guān)探針和電子顯微鏡（CPEM）技術(shù)
復(fù)雜的表面表征
自感應(yīng)探頭，無(wú)需光學(xué)檢測(cè)，無(wú)需激光調(diào)整
LiteScope™易于安裝到SEM的樣品臺(tái)上/從樣品臺(tái)中取出
兼容FIB，GIS，EDX等配件
在傾斜位置（角度0°-60°），*小工作距離5毫米
可伸縮的測(cè)量頭可釋放樣品周圍的空間
市售探針，種類繁多測(cè)量模式
快速簡(jiǎn)便地更換探頭和樣本
用戶友好的軟件，在網(wǎng)絡(luò)瀏覽器中操作，輕松遠(yuǎn)程訪問(wèn)
LiteScope™也可作為獨(dú)立的SPM使用
NenoVision開(kāi)發(fā)了獨(dú)特的技術(shù)-相關(guān)探針和電子顯微鏡（**申請(qǐng)中）-用于相關(guān)成像。CPEM能夠通過(guò)SEM和SPM確定樣品區(qū)域的表面特征同時(shí)使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)。
納米尺度樣品的特征。
它可以用作獨(dú)立的顯微鏡
或與電子束結(jié)合，這是它的**優(yōu)點(diǎn)。 LiteScope™通常在高真空下操作，但可根據(jù)要求適用于超高真空。
LiteScope™連接到SEM / FIB顯微鏡的樣品臺(tái)，從而可以根據(jù)用戶的喜好進(jìn)行操作。 LiteScope™能夠測(cè)量
在傾斜位置，例如用于與FIB技術(shù)同時(shí)使用。在這種情況下，用戶將會(huì)欣賞對(duì)接選項(xiàng)，從而可以將整個(gè)SPM探針縮回并隱藏在LiteScope™的主體中。
機(jī)械設(shè)計(jì)在剛性和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率方面尊重所有基本結(jié)構(gòu)要求。結(jié)果是高度穩(wěn)定的機(jī)架，機(jī)械振動(dòng)水平極低，可產(chǎn)生極其可靠的結(jié)果。
設(shè)計(jì)亮點(diǎn)
薄型和小尺寸可集成在SEM / FIB儀器中
易于集成的程序 - 安裝在SEM / FIB操縱器上
通用探頭支架適用于多種SPM方法和簡(jiǎn)單的“即插即用”組裝
樣品傾斜高達(dá)60°
優(yōu)化的機(jī)械設(shè)計(jì)，具有極低的振動(dòng)水平（剛性和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率），集成前置放大器（盡可能消除信號(hào)失真/噪聲）
| 總重量 | 1公斤 | |
| 真空工作范圍 | 105Pa至10-5Pa | |
| 掃描范圍X，Y，Z | 100 μm × 100 μm × 100 μm | |
| **樣本量 | 10毫米×10毫米 | |
| **樣本高度 | 8毫米 | |
| 解析度 | 高達(dá)0.4納米 |
獨(dú)特的CPEM技術(shù)及其相關(guān)成像技術(shù)可應(yīng)用于要求苛刻的領(lǐng)域，使用常規(guī)SEM進(jìn)行成像可能會(huì)因與化學(xué)對(duì)比度相關(guān)的表面污染而干擾表面形貌而提供誤導(dǎo)信息。CPEM是實(shí)時(shí)準(zhǔn)確分析和解釋圖像的理想解決方案。
材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究需要使用不同的分析方法對(duì)表面和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)和全面的分析。這是基于充分理解原則的需要
納米級(jí)范圍。 LiteScope™是這些科學(xué)應(yīng)用的理想工具。
對(duì)于諸如FIB和GIS之類的技術(shù)而言，其直接優(yōu)勢(shì)是顯而易見(jiàn)的，其中結(jié)構(gòu)直接在SEM中形成。新建結(jié)構(gòu)的3D分析工具至關(guān)重要。此外，配備CPEM和其他成像模式的LiteScope™可以對(duì)制備的結(jié)構(gòu)和納米器件進(jìn)行復(fù)雜的分析。
在工業(yè)質(zhì)量控制和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室中，LiteScope™有助于識(shí)別表面結(jié)構(gòu)，地形，表面粗糙度，污染等。這些能力受到需要驗(yàn)證質(zhì)量的工業(yè)客戶的高度重視。表面，因此可以節(jié)省因故障造成的損失。
LiteScope™可應(yīng)用于廣泛的行業(yè)，包括那些領(lǐng)域的行業(yè)半導(dǎo)體，太陽(yáng)能電池，存儲(chǔ)器件，MEMS和NEMS。這些領(lǐng)域比其他領(lǐng)域更需要納米級(jí)分析。如今，納米電路和納米器件的復(fù)雜分析要求越來(lái)越高。 LiteScope™通過(guò)實(shí)時(shí)擴(kuò)展樣品的3D成像和多重表征來(lái)滿足這些需求。
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