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德國SPS-EUROPE勻膠機
品概述
德國SPS-EUROPE公司勻膠機具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動快速，涂膠一致性和均勻性好等特點，廣泛應用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。
工作原理
勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
獨有特征
u 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器，可拆卸，耐化學試劑腐蝕。速度、加速和時間可編程；無限量程序存儲空間，可存儲旋涂多步驟工作協(xié)議，具有協(xié)議密保功能。
u 可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12，000rpm，轉(zhuǎn)速參數(shù)設置范圍廣，高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm)。
u 數(shù)字電機控制，帶增速數(shù)字顯示信號反饋，以避免轉(zhuǎn)速過量，從而提升涂膜的品質(zhì)。
u 防靜電PET透明襯套，杜絕工作倉室的交叉污染。
u 一體化結(jié)構(gòu)設計，殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)，傳動系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì)，壽命長耐腐蝕。
u 采用經(jīng)過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置，玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器，注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學試劑，氮氣擴散器在旋涂過程可注入到工作艙氮氣/氬氣，工作艙環(huán)境可控。
u 安全互鎖裝置：工作艙蓋鎖止，艙蓋打開旋轉(zhuǎn)自動停止，真空不足或沒有真空旋轉(zhuǎn)自動停止，過載保護。
u USB端口：可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件。
u 三個外接控制端口，可用于接入注入單元自動控制，氮氣擴散器控制等。
u 產(chǎn)品通過CE認證。
技術參數(shù)
型號 | SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩觸摸屏控制界面 | 全彩觸摸屏控制界面 |
結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) |
旋轉(zhuǎn)速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋轉(zhuǎn)精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋轉(zhuǎn)方向 | 順時針，逆時針，交換擺動 | 順時針，逆時針，交換擺動 |
加速/減速 | 1-30，000rpm/秒 (每步可選) | 1-30，000rpm/秒 (每步可選) |
旋轉(zhuǎn)時間 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范圍 | 160mm 或6"直徑或4"x4"方片 | 260mm 或6"直徑或6"x6"方片 |
腔體直徑 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3個 | 3個 |
真空開關 | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
暫無數(shù)據(jù)！
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