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多面掃描鏡(Polygonal Scanners)，可實現(xiàn)大范圍、高精度、超高速、高重復(fù)性的激光光束掃描。相比振鏡掃描，多面掃描鏡具有更快的掃描速度且具有更高的損傷閾值。
多面掃描鏡(Polygonal Scanners)系統(tǒng)：提供不同掃描寬度，不同工作波長和聚焦光斑尺寸，可滿足您對再現(xiàn)性和準(zhǔn)確性的要求。
集成的遠(yuǎn)心平面鏡片實現(xiàn)了緊湊型一體化即用型的掃描頭，可以實現(xiàn)高性能及高效率的微加工要求。
備有通用型的控制器，易集成于線性平臺和卷式行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)運動控制系統(tǒng)中。系統(tǒng)接口可以兼容傳統(tǒng)激光和脈沖激光。另外，模塊化的設(shè)計可以按照客戶需求進(jìn)行快速定制。
所有掃描頭都配備通用接口，控制器通過以太網(wǎng)控制。能多面掃描鏡系統(tǒng)
High Performance Polygon Scanner Systems
規(guī)格參數(shù)：
Optical specifications光學(xué)規(guī)格 | Standard標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | |||
Scan width掃描寬度 | 300 mm | 170 mm | ||
Wavelength波長(nm) | 355-375 | 515-532 | 1030-1070 | |
Minimum Spot*小光斑尺寸(FWHM)1 | 9 μm | 13 μm | 26 μm | |
Minimum Spot*小光斑尺寸(1/e2 dia) | 15 μm | 22 μm | 44 μm | |
Input beam diameter(1/e2 dia) 輸入光斑直徑(1/e2 dia) | 11 mm | 6 mm | ||
Input clear aperture輸入數(shù)值孔徑 | 19 mm | 10 mm | ||
Position Accuracy定位精度 | ± 10 μm or ±1 μm 2 | |||
Line straightness線平直度 | 15 μm or 1 μm 2 | |||
Spot repeatability光斑重復(fù)性 | < 3 μm 3 | |||
System specifications系統(tǒng)規(guī)格 | ||||
Input beam輸入光斑 | Parallel beam | |||
Scan speed掃描速度 | 56 – 224 lines per second | 100 – 400 lines per second | ||
Moving spot speed光斑移動速度 | 25 – 100 meters per second | |||
Scanner mechanical efficiency 掃描頭機(jī)械效率效率 | 71 % | |||
Optical efficiency光學(xué)效率 | > 85 % GR/IR | |||
Average Laser power 1平均激光功率 | 140 W (>7 ps) 50W (200 fs) | |||
Minimum pulse width*小脈沖寬度 | > 200 fs | |||
Maximum pulse energy*小脈沖能量 | 150 μJ (ps) 50 μJ (fs) | |||
Mechanical interface機(jī)械接口 | Industry standard interface | |||
Scanner to substrate clearance 掃描頭到基板距離 | 26.5 mm | 18 mm | ||
Power consumption功率 | 125 W max. | |||
Electrical supply電源 | Mono + earth 50/60 Hz， 100-240 VAC | |||
PC Connection電腦鏈接 | Ethernet TCP/IP protocol and USB3 | |||
Cable Length連線長度 | Max. 5 meter between scanner unit and control electronics | |||
暫無數(shù)據(jù)！
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