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X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線源相結(jié)合，并且可以照射出實(shí)際照射直徑為0.1mmφ以下高強(qiáng)度的X射線束。為此，可以對(duì)以往X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x由于照射強(qiáng)度不足而無(wú)法得到理想精度的導(dǎo)線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)搭載高計(jì)數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測(cè)器，在測(cè)量鍍層厚度的同時(shí)，也能對(duì)RoHS、ELV、中國(guó)版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進(jìn)行分析測(cè)量。
1. X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管 由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式，可得到以往十倍以上的X射線強(qiáng)度，從而可以提高微小樣品的膜厚測(cè)量及有害物質(zhì)測(cè)量的精度。
2. 無(wú)需液氮的半導(dǎo)體檢測(cè)器 在進(jìn)行薄膜測(cè)量與有害物質(zhì)的濃度測(cè)量時(shí)，高分辨率的檢測(cè)器是必不可少的。SFT9500的檢測(cè)器不但可以達(dá)到高分辨率，而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí)，由于使用了電子冷卻方式，所以無(wú)需液氮。
3. 能譜匹配軟件（選配件） 可瞬間識(shí)別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫(kù)中哪一個(gè)樣品較為接近的軟件。對(duì)識(shí)別材料十分有效。
4. 塊體檢量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件） 可簡(jiǎn)單地測(cè)量出電鍍液中主要金屬的濃度。
5.繪圖軟件（選配件） 將元素面分析的結(jié)果進(jìn)行等高線和色彩使用等視覺(jué)處理的軟件。
6. 電鍍液容器（選配件）
7. 各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（選配件）
［主要產(chǎn)品規(guī)格］ | |
可測(cè)量元素 | 原子序數(shù)13(Al)～83(Bi) |
X射線聚光 聚光方式 | X射線源 |
管電壓 | 50kV |
管電流 | 1mA |
檢測(cè)器 | Vortex®檢測(cè)器(無(wú)需液氮) |
| 分析范圍 | Φ0.1mm、Φ5mm |
| 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭（附變焦功能） |
| 濾波器 | 3種模式自動(dòng)切換 |
| 樣品平臺(tái) | 240(W)×330(D)mm |
| 移動(dòng)量 | X：220mm Y：150mm Z：150mm |
| 載重量 | 10kg |
| 重量 | 123kg(不含電腦) |
| X-ray Station | 臺(tái)式電腦 19"LCD (OS; Microsoft-Windows XP®) |
| 膜厚測(cè)量軟件 | 薄膜FP法（*多五層，各層十種元素） 檢量線法（單層、雙層、合金膜厚成分） |
| 定量分析功能 | 塊體FP法 |
| 統(tǒng)計(jì)處理功能 | Microsoft-EXCEL® |
| 報(bào)告制作 | Microsoft-WORD® |
| 安裝環(huán)境 | 溫度：10℃～35℃(±)5℃ 濕度：35%～80% |
| 使用電源 | 接地三頭插座 AC100、15A |
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