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具有穩(wěn)定的性能. 先進(jìn)的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點， 如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點
調(diào)整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有**的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的
長使用壽命. 獨特的傳感器屏蔽 (**技術(shù)) 保護(hù)真空計防止過程污染. 堅固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字
電子學(xué)加強(qiáng)了EMC 兼容性， 長期穩(wěn)定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速
穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn).
優(yōu)點
■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇
■ 電源接通后快速穩(wěn)定
■ 暴露大氣壓后快速恢復(fù)
■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器
■ **的長期訊號穩(wěn)定性
■ 溫度補償
■ 保護(hù)傳感器防止污染
■ 一鍵調(diào)零功能
■ 寬范圍電源
■ 兩個設(shè)點
■ RS232接口
■ 符合清潔室條件
用途
在要求高的應(yīng)用中用于精確和快速的壓強(qiáng)測量:
■ 用于刻蝕， CVD， PVD， ALD 等半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ 數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備
■ 工業(yè)真空設(shè)備
■ 一般高精度壓強(qiáng)測量
暫無數(shù)據(jù)！
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