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• 二氧化氯檢測儀

日本新宇宙半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D/XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀/氣檢漏儀XP-703D

XP-703D（自動(dòng)吸引式）半導(dǎo)體特氣檢漏儀 /

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技術(shù)參數(shù)：

• 二氧化氯檢測儀

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀技術(shù)參數(shù)：

型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi)

主要特點(diǎn)：

• 二氧化氯檢測儀

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.*適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。

2.采用聲光報(bào)警。

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