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激光系統

**能量

25mJ@ 266nm；能量輸出 0-100%可調

重現率

20Hz，脈寬<6ns(FWHM)，DI 水冷卻系統

能量控制

光學衰減連續(xù)可變

光斑大小控制

35-250 微米可調(到達樣品表面的燒蝕光斑直徑)

激光光閘

自動雙光閘，穩(wěn)定控制激光能量和 LIBS 信號測量

激光安全

I 級，樣品放置區(qū)域有濾光器，有激光鎖定保護

檢測器系統

譜寬190-1040 nm

測量過程不不受環(huán)境溫度變化的影響

分辨率λ/Δλ高達 6000

光譜精度優(yōu)于±0.05nm

雜散光抑制

探測器門控

門延時為0.5ns-1ms

分辨率 0.5 ns

樣品平臺系統

全自動 XYZ 行程

XY 行程 100mmx100mm，Z 行程 35mm

XY 行程分辨率 0.2um，Z 行程分辨率 0.2um

XY 行程重現率 0.2um，Z 行程重現率 0.2um

速度 0.001-20 mm/s

氣壓可控

樣品放置區(qū)域有濾光器，有激光鎖定保護功能

含高效空氣顆粒清潔器

具備專配 670 納米激光協助樣品高度自動調整功能

雙 CMOS 相機，廣角用于定位采樣區(qū)域，高倍成像用于觀察某一特定區(qū)域。并可在電腦屏幕上實時觀察樣品燒蝕過程

樣品池-可充氦氣或氬氣惰性氣體保護;鋰電池樣品需要保持在無水，無氧的條件下進行測量。測量碳，氮，氧，氫，氟等元素時;樣品池需要保持在氦氣氣氛中。

操作軟件

激光自動采樣設置

單點、網格、光柵狀、線性掃描或用戶自定義設置

數據處理系統

包含譜線自動識別功能、光譜處理功能、LIBS 的強度監(jiān)測、化學統計功能等

元素制圖及深度分析控制

包含84種元素的Trulibs™光譜數據庫和LIBS NIST 理論數據庫（涵蓋所有元素）

設置預脈沖個數用來清洗樣品表面污染物

高度自動化的測量功能

元素特征線的自動標定、標準曲線建立（單變量和多變量校準曲線）、主成分回歸功能可用于樣品分類