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團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備品牌
鵬城半導(dǎo)體產(chǎn)地
廣東樣本
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團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的第六項(xiàng)。項(xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)已完成G1(1代線) 和G2.5（2.5代線）的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。
項(xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)已經(jīng)解決了大部分關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題（如：源爐技術(shù)、精準(zhǔn)對(duì)位技術(shù)（對(duì)位精度達(dá)到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術(shù)、原位膜厚測(cè)量技術(shù)、高真空傳遞機(jī)械手、電控系統(tǒng)及自動(dòng)化控制軟件等）。
公司可對(duì)外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設(shè)計(jì)制造。
技術(shù)指標(biāo)
| 指標(biāo) | 參數(shù) |
|---|---|
| 對(duì)位精度 | CCD精密對(duì)位≤1.5 υm，機(jī)械對(duì)位≤150 υm |
| 膜厚均勻性和重復(fù) | ±2% |
| 總體技術(shù)路線 | 采用Cluster方案 |
| 工藝流程 | 設(shè)計(jì)-審核-外協(xié)-組裝-電氣安裝-調(diào)試-出廠 |
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