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型號：CX-CFG500 類型：薄膜電容真空計
適用氣體：不限氣體種類 反應時間：10ms
測量范圍：10pa ~1.0×10+5 Pa
供電：24 ±5 VDC /0.5A ；整機*大功耗1.0W
防護等級：IP40，IEC529
重量：250g 接口：標準 KF16 法蘭
接觸真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 燈絲, 饋通玻璃
CFG500系列薄膜電容真空規(guī)采用雙片圓形薄陶瓷片封裝成背壓恒定的密封腔，當測量面出現真空負壓時，陶瓷片呈穹彎型形變，前置陶瓷片與背景陶瓷片間距發(fā)生變化導致平行電極間電容發(fā)生變化，通過測量電容變化計算電極間距離變化，通過陶瓷彈性形變進而傳感出真空壓強。
產品實拍
高精度測量：±0.25%讀數
對測量環(huán)境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化
模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU數字通訊
2路可設置控制開關
3鍵智能操作 5位LED數字顯示
| 參數 | 數值 |
| 測量范圍 | 10pa ~ 1.0×10+5 Pa |
| 測量精度 | ±0.25 % 讀數 |
| 測量重復性 | ±0. 1% 全量程 |
| 測量分辨率 | 0.002% 全量程 |
| 長期穩(wěn)定性 | 每年變化不大于滿量程 ±0.5 % （不含環(huán)境變化因素） |
| 溫度補償范圍 | -20o C ~ +80o C, ±0.01 %FS/ o C |
| 工作環(huán)境 | -10o C ~ +50o C； 5 ~ 85 %,不結露 |
| 供電電源 | +24V（±20%）/0.5A（適用+5.0VDC至+32VDC） |
| 電接口插座 | D-Sub 15 Pin，公 |
| 真空腔體 | 接口：DN16ISO-KF（其他可選）；*大承壓：1.5×10+5 Pa |
| 重量 | 250g （DN16ISO-KF法蘭） |
由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯使得陶瓷薄膜電容規(guī)獲得高穩(wěn)定、高精度。
由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩(wěn)定性使得陶瓷薄膜電容規(guī)具有抗腐蝕、抗氧化能力。
由于采用機械形變傳感真空壓強使得陶瓷薄膜電容規(guī)對被測量氣體不敏感特點。
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