規(guī)格外形（長*寬*高）：
2500 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+800 mm(H)壓電變頻能量轉(zhuǎn)換器：
待定超聲功率：
待定處理容量（L）：
待定溫度范圍：
待定定時器范圍：
0-95適用物料：
半導(dǎo)體晶圓、光罩/掩膜版、玻璃基板功率（kw）：
218重量（kg）：
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片盒清洗機是一種用于半導(dǎo)體制造、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域的高效自動化清洗設(shè)備。當(dāng)然采購的時候*重要的還是參數(shù)。
片盒清洗機的參數(shù)指標(biāo)主要包括設(shè)備尺寸、機臺結(jié)構(gòu)、控制模式以及清洗能力等。以下是這些關(guān)鍵參數(shù)的詳細(xì)介紹：
設(shè)備尺寸
總體尺寸：片盒清洗機的尺寸通常為2500 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+800 mm(H)，這個尺寸包括了地腳的高度。
內(nèi)部布局：機臺總體結(jié)構(gòu)分為兩部分，機械運行機構(gòu)裝置位于機臺前方，而電器和氣路布置區(qū)域位于機臺后上方，液路布置區(qū)域則位于后下方。
機臺結(jié)構(gòu)
操作臺面高度：操作臺面的高度設(shè)計為950mm，適合身高在1550到1800mm的人員進(jìn)行操作。
主體材料：設(shè)備的主體材料采用德國進(jìn)口10mmPP板，骨架為優(yōu)質(zhì)不銹鋼，外包3mmPP板以防腐。
控制模式
手動/自動控制模式：片盒清洗機支持手動控制模式和自動控制模式，用戶可以根據(jù)實際需求選擇*合適的操作方式。
觸摸屏界面：設(shè)備配備觸摸屏界面，便于用戶設(shè)置和監(jiān)控清洗過程。
清洗能力
片盒數(shù)量：片盒清洗機的清洗能力通常為2-4片盒，具體取決于設(shè)備的型號和配置。
工藝流程：清洗流程包括上料、SC1（化學(xué)清洗）、QDR（快速排放）、氮氣烘干和下料等步驟，部分設(shè)備還可選配超（兆）聲系統(tǒng)和廢液回收系統(tǒng)。
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