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石墨純化爐和CVD/CVI/CVA涂層爐品牌
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石墨純化爐
首先在真空條件下對批量產(chǎn)品進(jìn)行高溫純化，在該過程中，揮發(fā)性成分經(jīng)高溫釋放揮發(fā)。下一步處理使用鹵素氣體，確保氯和氟在工藝中作為有效的反應(yīng)物。典型的**工藝溫度為2200℃，但在個(gè)別情況下可以達(dá)到2400℃。
在這種極端的工藝條件下，必須要**限度地考慮安全問題，并精準(zhǔn)了解所用材料的確切特性。
在選擇所用的材料和部件時(shí)要考慮到反應(yīng)性氣氛，以確保系統(tǒng)具有盡可能長的使用壽命。
為了確保符合德國TA Luft空氣質(zhì)量法規(guī)等標(biāo)準(zhǔn)，使用的工藝氣體及其反應(yīng)產(chǎn)物作為廢氣排放前需要進(jìn)行后處理。這種后處理通常由一個(gè)氣體洗滌器來完成。
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