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設(shè)備用途:設(shè)備可用于粉體、顆粒物料、硅負(fù)板材料氣相沉積碳包覆等工藝的高溫裂變。

。 設(shè)備主體尺寸:1800mmx1200mmx1700mm(以*終設(shè)計(jì)方案為準(zhǔn))。

0 回轉(zhuǎn)爐體尺寸:中320mmx600mm(實(shí)際裝填物料工作區(qū)尺寸}。

0 設(shè)備設(shè)計(jì)產(chǎn)能:爐內(nèi)**填充率約為20%6;**批次處理3-5kg。

0 爐體傾角:-4~15座(自動(dòng)可調(diào))/簡體轉(zhuǎn)速:0.25~4轉(zhuǎn)/分(變頻可調(diào))。

0 爐內(nèi)氣氛環(huán)境:滿足高純舞氣(或者其他惰性氣體)、乙炔、硅烷、甲烷等合氣體。

。設(shè)備使用溫度:設(shè)計(jì)**1100℃℃，爐內(nèi)恒溫時(shí)間跟據(jù)客戶工藝可調(diào)，可長期運(yùn)行于1000℃0 加熱方式:內(nèi)載電阻絲模塊園周加熱。

o 加熱溫區(qū)及控溫個(gè)數(shù):3個(gè)。

0 遙控系統(tǒng):島電觸摸屏+島電模塊(支持所有溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出PC)0 控謠穩(wěn)定性:+2%C/溫控表精度:0.3°C/設(shè)備表面濕升:<60℃。

0 電源:三相，380VAC,50HZ。

。裝機(jī)功率:30KW±10%。

0 報(bào)警保護(hù):超溫、斷偶、超壓，低壓，氣體泄漏等聲光報(bào)警保護(hù)(指示燈指示)。

0 氣體流量計(jì):高情度不銹鋼減壓閥(調(diào)節(jié)進(jìn)氣壓力)+質(zhì)量流量控制器(控制顯示實(shí)時(shí)流速和累計(jì)流速)+輔助氨氣管路+玻璃轉(zhuǎn)子透量計(jì)，為您預(yù)防斷電無法供氣的情況發(fā)生。