純度:
含硅量99.99%以上目數(shù):
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電子級(jí)石英砂是經(jīng)超純化工藝處理的高端石英材料,專為半導(dǎo)體、光電子等精密產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì),核心指標(biāo)為超低放射性元素含量(U、Th)與極限純度,滿足芯片制造、核醫(yī)學(xué)檢測(cè)等嚴(yán)苛場(chǎng)景需求。
放射性元素控制:
超高純級(jí):鈾(U)< 0.5 ppb、釷(Th)< 0.5 ppb;
標(biāo)準(zhǔn)高純級(jí):鈾(U)< 0.5 ppb、釷(Th)< 1 ppb;
極限純度:SiO?≥99.9995%(5N5級(jí)),金屬雜質(zhì)總量<5 ppm;
熱穩(wěn)定性:熱膨脹系數(shù)≤0.55×10??/℃,耐受快速升降溫(-200℃~1300℃)。
晶圓加工載具:用于硅片清洗、蝕刻工序,避免U/Th放射性污染導(dǎo)致芯片良率下降;
光刻機(jī)光學(xué)組件:低放射性石英透鏡,確保極紫外(EUV)光刻精度。
光纖預(yù)制棒沉積管、高能激光器窗口,需U/Th含量<1 ppb以降低信號(hào)損耗。
醫(yī)用PET/CT探測(cè)器閃爍晶體原料,放射性指標(biāo)直接影響成像分辨率。
量子計(jì)算設(shè)備絕緣層、高靈敏度質(zhì)譜儀腔體,要求材料本底輻射近乎為零。
等級(jí) | U含量 | Th含量 | 適用場(chǎng)景 |
---|---|---|---|
超高純級(jí) | <0.5 ppb | <0.5 ppb | EUV光刻、量子芯片 |
標(biāo)準(zhǔn)高純級(jí) | <0.5 ppb | <1 ppb | 光纖預(yù)制棒、醫(yī)療探測(cè)器 |
原料超篩選技術(shù):通過γ能譜儀預(yù)篩礦石,天然鈾釷本底降低90%;
多級(jí)純化工藝:集成“氯化提純→真空脫羥→納米過濾”,定向去除α粒子釋放源(U/Th);
檢測(cè)能力:采用ICP-MS(電感耦合等離子體質(zhì)譜)與α譜儀,檢測(cè)限低至0.1 ppb。
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn):符合SEMI F57(半導(dǎo)體級(jí)石英)、ASTM C1690(核醫(yī)學(xué)材料)規(guī)范;
生產(chǎn)環(huán)境:千級(jí)潔凈車間,避免外部污染;
追溯報(bào)告:每批次提供《放射性元素分析證書》及《超純石英砂溯源檔案》。
定制化供應(yīng):支持粒度(納米級(jí)至毫米級(jí))、形狀(粉末/塊體/熔融態(tài))定制;
快速響應(yīng):72小時(shí)內(nèi)提供樣品檢測(cè)數(shù)據(jù),量產(chǎn)交付周期≤30天;
聯(lián)合研發(fā):為客戶提供材料-工藝適配性優(yōu)化方案,降低驗(yàn)證成本。
我司以U/Th<0.5 ppb的電子級(jí)石英砂為核心,為半導(dǎo)體、醫(yī)療及尖端科研領(lǐng)域提供“零本底污染”材料解決方案,助力突破精密制造極限。
暫無數(shù)據(jù)!