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| 碳化硅缺陷檢測儀 | |
| 型號 | NOVA-2000 |
| 晶圓 | SiC襯底，外延片 |
| 尺寸 | 4寸，6寸，8寸 |
| 檢測效率 | 10WPH(6寸) |
| 上下料方式 | 全自動，2Loadport，1Robot |
| 環(huán)境溫度 | 20℃~25℃ |
| 環(huán)境濕度 | 40%~60% |
| 廠房潔凈等級 | 百級及以上無塵車間 |
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