中國粉體網訊  近日，由第三代產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟成員單位賽邁科先進材料股份有限公司牽頭，聯(lián)合北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、湖南三安半導體有限公司、山東大學、中國科學院半導體研究所聯(lián)合提出的《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》團體標準提案，經CASAS管理委員會投票獲得通過，2024年3月4日正式立項，并分配標準編號：T/CASAS 048。

T/CASAS 048—20XX《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》描述了碳化硅單晶生長用等靜壓石墨的術語和定義、材料規(guī)格說明、基本要求、技術要求、檢驗規(guī)則、標識、包裝、運輸和貯存。適用于純度達到5N5（99.9995wt%）以上的碳化硅單晶生長用等靜壓石墨。

在碳化硅半導體領域，等靜壓石墨是PVT法生長單晶的重要耗材，占據生產物料成本的約30%，用以制造單晶生長用的熱場部件（包括坩堝及內部構件、電阻加熱器等）；同時，等靜壓石墨的使用表現，也極大的影響晶體質量，質量良好的等靜壓石墨熱場能提升晶體生長良率。由于工況中有極高的運行溫度、復雜的腐蝕情況、嚴苛的潔凈度要求，因此，用戶對該領域用的等靜壓石墨具有更加高的使用要求和質量標準，這體現在純度、強度、抗腐蝕性、均勻性等多個方面。當前，我國石墨產業(yè)發(fā)展蓬勃，但存在“高端產能不足、中低端產能過�！钡膯栴}。希望以此標準的制定，銜接產業(yè)鏈上中下游，共同探討產品需求的更多共識，促進我國石墨產業(yè)的轉型升級、提質增效、創(chuàng)新發(fā)展。

秘書處將向CASAS正式成員發(fā)出征集起草單位的通知，組建標準起草小組，請CASAS正式成員關注秘書處郵件（casas@casa-china.cn）。

牽頭單位介紹

賽邁科先進材料股份有限公司成立于2007年，是中國領先的大規(guī)模、高品質特種石墨材料研發(fā)生產的高科技企業(yè)，公司現有兩大生產基地，分別位于浙江湖州和寧夏銀川，總占地面積約1000畝。公司具備綠色環(huán)保的先進生產工藝，其石墨材料和碳材料產品廣泛應用于清潔能源、可再生能源、半導體、工業(yè)爐、精密模具等行業(yè)領域，公司提供基千石墨和碳材料的增值服務和產品，包括精密加工、材料純化、表面處理、檢驗檢測等。

公司始終把自主科研創(chuàng)新能力作為企業(yè)核心競爭力，是國家級高新技術企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)，公司的實驗室已取得國家認可委(CNAS)認證，具備對公眾和社會服務能力，同時也是中國石墨行業(yè)唯一加入美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)，成為組織成員單位的企業(yè)；至2023年為止，公司已參與編制國家標準、行業(yè)標準、ASTM標準等共計19項；公司已與中國工程院、中國科學院著名院士共同建立院士專家工作站，并建立了國家級博士后工作站、省級重點企業(yè)研究院等創(chuàng)新平臺；公司與全球范圍領先的研究機構和高校開展合作，包括中科院、清華大學、牛津大學等，為全球各行業(yè)用戶提供更有創(chuàng)新性的產品和服務。

（中國粉體網編輯整理/空青）

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