中國粉體網(wǎng)訊 中共中央、國務(wù)院于6月24日上午在北京隆重舉行國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會。
國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)是為了獎(jiǎng)勵(lì)在科學(xué)技術(shù)進(jìn)步活動(dòng)中做出突出貢獻(xiàn)的個(gè)人、組織，調(diào)動(dòng)科學(xué)技術(shù)工作者的積極性和創(chuàng)造性，建設(shè)創(chuàng)新型國家和世界科技強(qiáng)國，根據(jù)《中華人民共和國科學(xué)技術(shù)進(jìn)步法》設(shè)立的獎(jiǎng)項(xiàng)。該獎(jiǎng)項(xiàng)包括國家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)、國家自然科學(xué)獎(jiǎng)、國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)、國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)、中華人民共和國國際科學(xué)技術(shù)合作獎(jiǎng)。
在半導(dǎo)體研磨拋光領(lǐng)域，“集成電路化學(xué)機(jī)械拋光關(guān)鍵技術(shù)與裝備”項(xiàng)目獲2023年度國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)�！鞍雽�(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項(xiàng)目獲2023年度國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。
項(xiàng)目名稱：集成電路化學(xué)機(jī)械拋光關(guān)鍵技術(shù)與裝備
多重并行整機(jī)架構(gòu)及CMP系列整機(jī)
主要完成人：路新春(清華大學(xué))、雒建斌(清華大學(xué))、王同慶(清華大學(xué))、趙德文(清華大學(xué))、何永勇(清華大學(xué))、劉宇宏(清華大學(xué))
項(xiàng)目簡介：
集成電路裝備是IC產(chǎn)業(yè)的重要支撐，是保障集成電路產(chǎn)業(yè)安全的基礎(chǔ)。CMP裝備作為集成電路制造五大關(guān)鍵裝備之一，在產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺，其核心技術(shù)的自主可控至關(guān)重要。該項(xiàng)目面向國家重大戰(zhàn)略需求，通過技術(shù)創(chuàng)新解決了CMP核心“卡脖子”難題，形成自主技術(shù)體系，成功實(shí)現(xiàn)整機(jī)全面應(yīng)用與產(chǎn)業(yè)化，打破了國際巨頭在此領(lǐng)域數(shù)十年的壟斷，支撐未來高端芯片自主可控發(fā)展。
該項(xiàng)目揭示了拋光過程流場運(yùn)動(dòng)規(guī)律和晶圓全局壓力調(diào)控機(jī)制，首創(chuàng)直線運(yùn)動(dòng)式新型拋光單元，發(fā)明了雙面噴淋清洗與表面張力梯度輔助豎直旋轉(zhuǎn)干燥技術(shù)，建立了亞納米膜厚測量與摩擦力終點(diǎn)檢測技術(shù)，發(fā)明了模塊化柔性布局整機(jī)架構(gòu)。突破了國外專利壁壘，為芯片制造提供了全系列CMP裝備，經(jīng)濟(jì)社會效益顯著，對我國高端芯片制造自主可控起到重要支撐作用。
另據(jù)華海清科官微，華海清科董事長、首席科學(xué)家路新春作為該項(xiàng)目第一完成人獲得2023年度國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)證書。
項(xiàng)目名稱：半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用
力量鉆石半導(dǎo)體材料切割研磨微粉
主要完成人：徐西鵬、陳鋒、趙延軍、王東雪、郭小偉、王海龍、李戰(zhàn)偉、張存升、黃國欽、祝小威
主要完成單位：鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司，華僑大學(xué)，青島高測科技股份有限公司，華天科技(西安)有限公司，鄭州大學(xué)，北京中電科電子裝備有限公司，河南省力量鉆石股份有限公司
相關(guān)介紹：
據(jù)華僑大學(xué)官微，華僑大學(xué)徐西鵬教授牽頭完成“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項(xiàng)目。此前，徐西鵬教授牽頭完成的“石材高效加工用金剛石磨粒工具關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”成果獲2013年度國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。
該項(xiàng)目主要完成單位之一——三磨所在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)，開發(fā)出倒邊、減薄、切割、拋光用系列超硬材料制品以及配套用陶瓷盤、UV膜等產(chǎn)品，具有精度高、加工效率高、加工工件表面質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)，部分產(chǎn)品性能超越國外同類產(chǎn)品，成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，成為中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要支撐力量，是中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體加工切磨拋系列產(chǎn)品供應(yīng)商、半導(dǎo)體加工切磨拋產(chǎn)品國內(nèi)優(yōu)選品牌。
參與完成該項(xiàng)目的河南省力量鉆石股份有限公司發(fā)文稱，本次榮獲國家級科技進(jìn)步獎(jiǎng)是在高端超硬材料科技創(chuàng)新方面的又一次突破，解決了高品質(zhì)微細(xì)磨粒（高端金剛石微粉）批量化生產(chǎn)難題，為我國半導(dǎo)體領(lǐng)域高質(zhì)高效加工解決了關(guān)鍵材料的迫切需求，有力保障了我國高性能半導(dǎo)體器件自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)鏈安全。
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）
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