中國(guó)粉體網(wǎng)訊 7月9日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2024高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州成功召開。會(huì)議期間，我們邀請(qǐng)到多位專家學(xué)者、企業(yè)家代表做客“對(duì)話”欄目，圍繞高端研磨拋光材料的技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展方向進(jìn)行了訪談交流。本期，我們分享的是儒亞科技(北京)有限公司總經(jīng)理熊向軍的專訪。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)熊總從主營(yíng)產(chǎn)品、企業(yè)規(guī)模、研發(fā)實(shí)力等方面介紹一下儒亞科技。
熊總：首先非常感謝中國(guó)粉體網(wǎng)的邀請(qǐng)。我先介紹一下儒亞科技(北京)有限公司，我們公司坐落在北京市海淀區(qū)，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。我們的主營(yíng)產(chǎn)品都是關(guān)于粉體顆粒的粒度分析產(chǎn)品，或者是粉體性能分析有關(guān)的產(chǎn)品，主要包括有CPS納米粒度儀、EyeTech激光粒度粒形分析儀等粉體粒度分析儀器，還有一些與粒度分析樣品制備相關(guān)的工具。另外，公司在工業(yè)在線分析領(lǐng)域也提供相應(yīng)的粒度分析產(chǎn)品，比如像在潤(rùn)滑油和液壓油等應(yīng)用過程中的顆粒分析。此外，我們公司自己還擁有一個(gè)完善的粉體測(cè)試相關(guān)實(shí)驗(yàn)室，大概有二十余套的分析儀器和設(shè)備，我們?cè)谡麄�(gè)固定資產(chǎn)上也做了大量的投入。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問熊總，公司的產(chǎn)品主要服務(wù)于哪些行業(yè)？
熊總：我們的產(chǎn)品從大類上來講，是分為實(shí)驗(yàn)室和在線兩個(gè)產(chǎn)品線。服務(wù)的行業(yè)除了高校、科研單位和政府部門、事業(yè)單位之外，我們還服務(wù)于像石油化工、精細(xì)化工、食品制藥、半導(dǎo)體和集成電路、光伏風(fēng)電等新能源、新材料、機(jī)械加工、工業(yè)自動(dòng)化、港口船舶、工程機(jī)械等等行業(yè)。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問熊總，為什么需要對(duì)磨料的粒度進(jìn)行嚴(yán)格、準(zhǔn)確的檢測(cè)？
熊總：目前我了解到的磨料的應(yīng)用有兩個(gè)方向，半導(dǎo)體和光伏行業(yè)。磨料主要用于拋光，提到拋光就會(huì)涉及到拋光速率，也就是去除率。拋光液中磨料的顆粒尺寸對(duì)拋光表面的表面質(zhì)量及拋光速率有著顯著的影響，同時(shí)和它的形貌特性也有很有大的關(guān)系。而半導(dǎo)體行業(yè)中拋光液離不開磨料的發(fā)展，那么磨料的顆粒表征尤為重要。所以說在拋光領(lǐng)域中，都會(huì)對(duì)顆粒粒度進(jìn)行控制。
中國(guó)粉體網(wǎng)：粒度檢測(cè)的方法有哪些？背后的原理是什么？
熊總：粒度檢測(cè)的方法其實(shí)有很多，傳統(tǒng)的粒度檢測(cè)方法像篩分法、圖像分析法等等。我們公司的CPS納米粒度儀是利用高速離心沉降法進(jìn)行粒度檢測(cè)，這種方法最大的優(yōu)勢(shì)就是還原真實(shí)粒度分布結(jié)果，而且具有極高的分辨率和最低0.01微克的超低樣品分析能力；這款儀器可以區(qū)分測(cè)出僅僅相差1%的兩個(gè)粒度峰。此外，我們的EyeTech激光粒度粒形分析儀采用的是激光光阻法和動(dòng)態(tài)圖像分析的激光視頻雙測(cè)量通道的分析方法，可以實(shí)現(xiàn)與材料物性無關(guān)的粒度分析，與市面上大多數(shù)粒度分析儀器有很大的不同，更適合分析組分不確定、不固定或者組分未知的樣品，以及混合物樣品。
中國(guó)粉體網(wǎng)：在CMP研磨拋光領(lǐng)域，儒亞科技能提供哪幾款產(chǎn)品？它們的特色是什么？
熊總：其實(shí)就像剛剛我在介紹粒度分析方法里面有提到的，我們提供的主要是兩大類，三個(gè)產(chǎn)品。第一個(gè)就是CPS納米粒度儀，這款儀器的優(yōu)點(diǎn)是：可測(cè)粒度范圍很大，從5納米到75微米，涵蓋了納米、亞微米到微米級(jí)別的磨料分析。第二個(gè)EyeTech激光粒度粒形分析儀，主要用于微米級(jí)別的粒度分析，這個(gè)儀器的的可測(cè)范圍也很廣，從0.1微米到3600微米，同時(shí)該儀器除了傳統(tǒng)的激光通道之外，還帶有一個(gè)視頻分析的通道。也就是說使用激光通道進(jìn)行粒度分析的同時(shí)還可以得到樣品的圖像，這樣可以基于動(dòng)態(tài)的圖像分析，對(duì)顆粒的形貌參數(shù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。這也能滿足目前市場(chǎng)對(duì)CMP工藝參數(shù)的要求。
第三就是PD-10干粉分散器，主要用于電鏡或光學(xué)顯微鏡進(jìn)行粉體的粒度分析時(shí)的樣品制備。電鏡或者顯微鏡粒度觀察分析的一個(gè)痛點(diǎn)就是干粉樣品的分散制樣是非常麻煩的，為解決這個(gè)問題，我們公司開發(fā)了PD-10干粉分散器。這樣可以非常方便的幫助我們用戶進(jìn)行干粉樣品的制備，它最大的優(yōu)點(diǎn)就是能夠消除人為的操作誤差。因?yàn)樵诤芏鄬?shí)驗(yàn)室，不同人操作同一臺(tái)儀器進(jìn)行粒度分析會(huì)出現(xiàn)不同的結(jié)果，而通過使用這款設(shè)備，可以替代人為操作，解決分析制備中出現(xiàn)的人為操作誤差的問題。
中國(guó)粉體網(wǎng)：好的，今天的采訪就到這里，感謝熊總接受采訪，謝謝。
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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