中國粉體網(wǎng)訊  石英玻璃材料及制品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制程中，是半導(dǎo)體蝕刻、擴(kuò)散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。其中高純不透明石英玻璃是石英玻璃分類中的一個(gè)重要產(chǎn)品，是以石英砂、發(fā)泡劑、白炭黑等為原料按一定比例混合，加熱成型，總雜質(zhì)含量不大于30μg/g的不透明石英玻璃，其除在純度、熱學(xué)、耐化學(xué)侵蝕等方面具有普通石英玻璃突出的優(yōu)異性能外，還具有獨(dú)特的隔熱性能。

20世紀(jì)90年代，日本信越、東曹，德國賀利氏等跨國企業(yè)已生產(chǎn)高純不透明石英玻璃，并在之后長達(dá)二十多年一直處于壟斷地位。近幾年，國內(nèi)石英玻璃生產(chǎn)企業(yè)通過技術(shù)攻關(guān)，掌握了生產(chǎn)工藝，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)步提升，已達(dá)國外產(chǎn)品水平。

菲利華不透明石英玻璃

湖北菲利華石英玻璃股份有限公司是我國石英玻璃龍頭企業(yè)，公司主要從事高性能石英玻璃、石英纖維及復(fù)合材料的研發(fā)生產(chǎn)，主要服務(wù)于半導(dǎo)體、光通訊、光伏太陽能、高端光學(xué)及航空航天等高新技術(shù)領(lǐng)域。

據(jù)菲利華2023年年報(bào)，在石英玻璃材料及制品板塊，公司研發(fā)成功了高純電熔不透明石英、黑石英、低羥基和少羥基合成石英玻璃，成為先進(jìn)半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵材料。

2024年3月，菲利華申請了《一種高純不透明石英玻璃的制造方法》的專利，申請涉及一種高純不透明石英玻璃的制造方法，屬石英玻璃生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該高純不透明石英玻璃的制造方法通過調(diào)控石英砂的粒度能調(diào)節(jié)石英砂之間的孔隙的方式能有效調(diào)控成品中氣孔的平均直徑和豐度，從而有效控制成品的密度和遮光率，使得成品具有較長的使用壽命和良好的熱阻斷性。解決了現(xiàn)有生產(chǎn)方式不能控制氣孔直徑和豐度，導(dǎo)致成品的密度和遮光性低的問題。此種高純不透明石英玻璃的制造方法主要包括以下步驟：

菲利華.一種高純不透明石英玻璃的制造方法

（1）對石英砂破碎篩分獲得石英砂細(xì)粒；

（2）向球磨機(jī)中加入石英砂細(xì)粒和去離子水進(jìn)行濕磨獲得漿料；

（3）去除漿料中的磨球，向漿料中加入乳酸，旋轉(zhuǎn)均化至無明顯沉降；

（4）將漿料注入模具中，脫水后脫模獲得多孔的生坯；

（5）對生坯靜置后，恒溫干燥；

（6）對干燥的生坯燒結(jié)獲得成品。

菲利華官網(wǎng)介紹了兩種電熔不透明石英玻璃產(chǎn)品。

電熔不透明石英 FSTQZ®B

菲利華電熔不透明石英 FSTQZ®B

黑色石英玻璃材料同時(shí)具備高純度、高光學(xué)吸收率、高發(fā)射率以及低熱導(dǎo)率，因此可提高工藝環(huán)境的熱均勻性，屏蔽過程中向外輻射熱量，從而增加熱管理的自由度。此外，較其他黑色陶瓷其加工性能更優(yōu)。

電熔不透明石英 FSTQZ®B物理性能

電熔不透明石英 FSTQZ®W

菲利華電熔不透明石英 FSTQZ®W

電熔不透明石英玻璃擁有低透過率，高熱反射率，可以有效地降低熱損失，并能延長加熱部件的壽命。該材料可以進(jìn)行焊接、火拋光以及高精度光學(xué)拋光處理，擁有高密度，優(yōu)異的機(jī)加光潔度，火拋后良好的光潔度，更長的使用壽命。適用于半導(dǎo)體熱處理制程。

電熔不透明石英 FSTQZ®W物理性能

2024年11月21-22日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“2024（第八屆）全國石英大會暨展覽會”將在江蘇徐州召開，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司研發(fā)工程師胡世浩將做《電熔不透明石英玻璃在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用》的報(bào)告，屆時(shí)，他將結(jié)合菲利華研發(fā)經(jīng)驗(yàn)詳細(xì)介紹半導(dǎo)體用電熔不透明石英玻璃的制備方法及性能要求。

參考來源：

劉煥敏.GB/T 42800-2023《高純不透明石英玻璃》標(biāo)準(zhǔn)解讀

中國專利公布公告.一種高純不透明石英玻璃的制造方法

菲利華官網(wǎng)、年報(bào)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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