中國粉體網(wǎng) 10月29日，湖北政務服務網(wǎng)公布湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發(fā)及生產(chǎn)項目備案申報。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發(fā)及生產(chǎn)項目位于湖北省荊州經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)。據(jù)備案信息顯示，該項目利用現(xiàn)有廠房和設備，對爐膛結構、升降設備控制系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)等進行智能化升級改造；新增氣柜、料柜、蒸發(fā)器、純化設備及相關檢測裝置，面向極紫外（EUV）光刻機對石英玻璃材料的需求進行超低膨脹石英玻璃的研制，建設1條中試生產(chǎn)線。
據(jù)中國粉體網(wǎng)了解，相較于其他低膨脹石英玻璃，SiO2-TiO2石英玻璃的熱膨脹系數(shù)更低，在一定溫度范圍內(nèi)甚至可以做到零膨脹或負膨脹，因此摻鈦石英玻璃又被稱為超低膨脹石英玻璃。低膨脹石英玻璃的制備方法主要有化學氣相沉淀法、間接合成法和溶膠-凝膠法等，具有極低的熱膨脹系數(shù)，是半導體光刻設備用光學元件、天文望遠鏡反射鏡、原子鐘腔體等高新技術領域的關鍵材料。
今年3月，國家知識產(chǎn)權局公布了名為“一種低膨脹系數(shù)石英玻璃錠的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝置”的專利，申請人為湖北菲利華石英玻璃股份有限公司。
該發(fā)明涉及一種低膨脹系數(shù)石英玻璃錠的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝置，屬低膨脹系數(shù)石英玻璃生產(chǎn)技術領域。該發(fā)明以濃鹽酸為溶劑、以SiCl4、TiCl4為溶質(zhì)制備成混合原料溶液；由于潛在的溶劑化作用，使硅原子與摻雜原子以離子狀態(tài)均勻分散于混合原料溶液內(nèi)。由此解決了現(xiàn)有制備工藝難以精確控制鈦含量，并在生產(chǎn)過程中不能保持其一致性所導致的石英塊中摻雜元素分布上的波動，加劇石英材料性能不穩(wěn)定性的問題。該發(fā)明其摻雜料波動范圍可縮小67%；熱膨脹系數(shù)波動范圍減小31%；對制備低膨脹系數(shù)石英玻璃錠具有積極的意義。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司是我國石英玻璃龍頭企業(yè)，公司主要從事高性能石英玻璃、石英纖維及復合材料的研發(fā)生產(chǎn)，主要服務于半導體、光通訊、光伏太陽能、高端光學及航空航天等高新技術領域。據(jù)菲利華2024年半年報顯示，公司開發(fā)出的超低膨脹系數(shù)石英玻璃，實現(xiàn)了零膨點溫度區(qū)域可控，為原子鐘腔體、空間探測、極紫外光刻光學系統(tǒng)提供了材料支撐。
參考來源：
[1]張寒等.超低膨脹合成石英玻璃關鍵制造工藝研究
[2]湖北政務服務網(wǎng)
[3]菲利華官網(wǎng)
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/九思）
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