中國粉體網(wǎng)訊  2024年12月19日，日本三菱化學發(fā)布公告稱，決定在九州福岡工廠（福岡縣北九州市）加強“三菱合成石英砂”的產(chǎn)能，這是一種用于半導體制造工藝的合成二氧化硅粉末。此次在現(xiàn)有基礎(chǔ)上增加35%產(chǎn)能，計劃于2028年9月投產(chǎn)。

三菱化學合成砂

三菱化學表示，該產(chǎn)品是一種合成二氧化硅粉末，具有超高純度，是用作生產(chǎn)半導體硅的石英坩堝和半導體制造設(shè)備中高純度石英零件的原料。

合成砂產(chǎn)品在石英坩堝中的使用示意圖

石英坩堝的表面必須非常純凈，尤其是在鑄錠制造過程中，以防止含有會顯著降低晶圓質(zhì)量的雜質(zhì)。該產(chǎn)品采用多年積累的制造技術(shù)，實現(xiàn)了世界上最高的砂型二氧化硅純度，在此應(yīng)用中具有很高的競爭力。

據(jù)了解，合成石英砂的生產(chǎn)不依賴于天然石英礦產(chǎn)，可以通過化學合成法制備。又因為其純度更高、光學性能更良等特性，除了在高端光學領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用以外，也符合半導體制程對石英制品高純、無污染、耐高溫的要求，尤其是隨著半導體芯片線寬越來越窄，普通的天然石英材料已經(jīng)無法滿足高端生產(chǎn)工藝的要求，合成石英成為10nm制程以下的半導體芯片刻蝕環(huán)節(jié)中的重要部件。合成砂的技術(shù)路線包括氣相合成法、化學沉淀法、溶膠-凝膠法、四氯化硅液相水解法等。

三菱化學合成砂特性

目前，市場上僅有日本三菱一家生產(chǎn)的合成非晶體石英砂產(chǎn)品，三菱化學合成石英砂是采用醇硅法制成的超純合成二氧化硅粉末，其產(chǎn)品純度達到7N級別，是經(jīng)過30多年制造技術(shù)改進的產(chǎn)品。它是高性能石英玻璃產(chǎn)品的原材料，可以將各種金屬元素抑制到極低的水平。它的金屬雜質(zhì)總量小于1ppm，是半導體制造中不可或缺的材料，正變得越來越高度集成，并用作制造高純度石英零件和硅晶片的石英坩堝的原材料。此外，對于各種光學應(yīng)用，可以制造從紫外線到紅外范圍具有出色透射率的玻璃。

三菱化學稱，公司為半導體制造工藝提供廣泛的材料和服務(wù)陣容，并致力于通過確保高質(zhì)量、穩(wěn)定的供應(yīng)來繼續(xù)為半導體行業(yè)做出貢獻。此次決定增加產(chǎn)能是為了滿足半導體市場持續(xù)增長的需求。

參考來源：

三菱化學官網(wǎng)

中國粉體網(wǎng).合成高純石英砂，意圖“篡位”

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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