中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，本土CMP拋光材料廠商上海潤(rùn)平電子材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱“潤(rùn)平電子”）獲數(shù)千萬(wàn)元投資。本輪融資將用于公司產(chǎn)品研發(fā)、團(tuán)隊(duì)擴(kuò)充等，持續(xù)擴(kuò)大公司影響力。

CMP拋光材料，國(guó)產(chǎn)替代任務(wù)最為緊迫的領(lǐng)域之一

當(dāng)前，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)（ChemicalMechanicalPolishing，CMP）是唯一可以實(shí)現(xiàn)全局平坦化的關(guān)鍵技術(shù)，隨著集成電路元件的最小特征尺寸縮小到7nm甚至5nm，CMP技術(shù)在過(guò)去的幾十年中得到了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，其拋光工藝已達(dá)到納米級(jí)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工制程，成為納米級(jí)集成電路制造的標(biāo)準(zhǔn)過(guò)程，促進(jìn)了集成電路技術(shù)和摩爾定律的穩(wěn)步發(fā)展。

CMP技術(shù)在半導(dǎo)體制程的前道、中道、后道工序均發(fā)揮關(guān)鍵作用。而且隨著芯片制程的不斷縮小，CMP工藝在半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的應(yīng)用次數(shù)逐步增加，以邏輯芯片為例，65nm制程芯片需經(jīng)歷約12道CMP步驟，而7nm制程芯片所需的CMP處理則增加為30余道，CMP技術(shù)應(yīng)用將更為頻繁。

一個(gè)理想的CMP結(jié)果應(yīng)該包含合適的去除速率和較低的表面粗糙度，這就要求使用合適的拋光材料與最佳的工藝方案。其中拋光材料主要包括拋光液、拋光墊、清洗液等，對(duì)拋光效果影響極大。同時(shí)CMP拋光材料成本在半導(dǎo)體材料成本中占比約為7%，是關(guān)鍵的半導(dǎo)體材料。

但是，如此重要的材料，目前國(guó)產(chǎn)化率仍較低，拋光液市場(chǎng)主要被CMC Materials、Resonac、Versum和Fujimi等美日企業(yè)壟斷，拋光墊全球市場(chǎng)市場(chǎng)份額則主要被杜邦占據(jù)。因此該領(lǐng)域也成為國(guó)產(chǎn)替代任務(wù)最為緊迫的領(lǐng)域之一。

國(guó)內(nèi)稀缺的CMP拋光材料廠商

據(jù)了解，潤(rùn)平電子成立于2021年，由江豐電子孵化，團(tuán)隊(duì)核心成員曾就職于卡博特等全球CMP材料龍頭企業(yè)，專注于半導(dǎo)體芯片制造用CMP拋光材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括拋光墊、拋光液、保持環(huán)、吸附膜、超高精密拋光頭等。公司產(chǎn)品已在國(guó)內(nèi)12寸頭部存儲(chǔ)芯片廠和邏輯芯片廠批量供應(yīng)，成為行業(yè)領(lǐng)先的CMP拋光材料核心供應(yīng)商之一。

目前，公司在拋光墊領(lǐng)域已形成批量出貨，并組建了一條國(guó)產(chǎn)拋光墊生產(chǎn)線；在拋光液品類布局多晶硅拋光液、氧化物拋光液、金屬鎢拋光液以及氧化鈰拋光液等多產(chǎn)品線，其中多晶硅拋光液實(shí)現(xiàn)了從拋光顆粒到最終產(chǎn)品全鏈路100%的國(guó)產(chǎn)化。在拋光頭維修服務(wù)領(lǐng)域，公司已成為國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的核心零部件供應(yīng)商之一。潤(rùn)平電子以服務(wù)好半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域的客戶為目標(biāo)，通過(guò)構(gòu)建多元化產(chǎn)品矩陣，實(shí)現(xiàn)CMP拋光材料全鏈條國(guó)產(chǎn)化，彰顯其在強(qiáng)化供應(yīng)鏈安全方面的遠(yuǎn)見(jiàn)和擔(dān)當(dāng)。

去年10月，由潤(rùn)平電子投資的青島平芯CMP拋光材料研發(fā)生產(chǎn)基地項(xiàng)目正式投產(chǎn)，該項(xiàng)目投資1億元，主要建設(shè)半導(dǎo)體芯片制造用CMP拋光材料及精密拋光頭組裝研發(fā)生產(chǎn)基地項(xiàng)目，提供CMP材料和零部件的整體解決方案，可就近為鏈主企業(yè)提供芯片制造用CMP拋光材料及精密拋光頭組裝服務(wù)。該項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)年?duì)I業(yè)收入達(dá)3億元，年稅收約1135萬(wàn)元。

參考來(lái)源：毅達(dá)資本、青島自貿(mào)片區(qū)

（中國(guó)粉體網(wǎng)/山川）

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