中國粉體網(wǎng)訊  聚焦環(huán)是放置在晶圓外部、直接接觸晶圓的重要部件，通過將電壓施加到環(huán)上以聚焦通過環(huán)的等離子體，從而將等離子體聚焦在晶圓上以提高加工的均勻性。

傳統(tǒng)的聚焦環(huán)由硅或石英制成，隨著集成電路微型化推進(jìn)，集成電路制造對于刻蝕工藝的需求量、重要性不斷增加，刻蝕用等離子體功率、能量持續(xù)提高，尤其是電容耦合（CCP）等離子體刻蝕設(shè)備中所需等離子體能量更高，因此碳化硅材料制備的聚焦環(huán)使用率越來越高。

國內(nèi)碳化硅聚焦環(huán)實(shí)力企業(yè)榜單如下（企業(yè)排名不分先后）：

蘇州珂瑪材料科技股份有限公司

蘇州珂瑪材料科技股份有限公司業(yè)務(wù)主要包括先進(jìn)陶瓷材料零部件的研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)以及泛半導(dǎo)體設(shè)備的表面處理服務(wù)等。公司擁有由氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁、碳化硅、氧化釔和氧化鈦，六大類材料組成的先進(jìn)陶瓷基礎(chǔ)材料產(chǎn)品體系，主要應(yīng)用于腔室內(nèi)，其中部分零部件直接與晶圓接觸，是集成電路制造中關(guān)鍵的精密零部件，包括聚焦環(huán)等產(chǎn)品。

吉盛微（武漢）新材料科技有限公司

吉盛微（武漢）新材料科技有限公司成立于2023年3月，為盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司在武漢投資成立，主要從事半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體設(shè)備用CVD SiC原材料及SiC 部件（Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等）、超高純高精密陶瓷材料及部件、SiC Epi Wafer、CVD SiC設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)制造。2023年12月8月，吉盛微（武漢）新材料科技有限公司碳化硅制造基地在武漢經(jīng)開綜合保稅區(qū)正式投產(chǎn)。目前，該公司已完成了刻蝕、擴(kuò)散、外延、快速熱處理等多個工藝的零部件、耗材開發(fā)工作，覆蓋碳化硅聚焦環(huán)、簇射極板以及晶圓舟等領(lǐng)域，部分產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)空白，具備穩(wěn)定的生產(chǎn)供貨能力。

深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司

深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司成立于2017年，公司成立以來主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷售用于半導(dǎo)體設(shè)備的碳化硅涂層石墨零部件產(chǎn)品，并提供相關(guān)碳化硅涂層服務(wù)，主要產(chǎn)品可用于碳化硅（SiC）外延設(shè)備、MOCVD設(shè)備、硅（Si）外延設(shè)備等多種半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)，公司產(chǎn)品及服務(wù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。同時志橙半導(dǎo)體也在積極開展外延、刻蝕、氧化擴(kuò)散和晶體生長等半導(dǎo)體設(shè)備用實(shí)體碳化硅零部件、燒結(jié)碳化硅零部件和碳化鉭涂層石墨零部等新產(chǎn)品，包含聚焦環(huán)、氣體噴淋頭等實(shí)體碳化硅零部件，爐管等燒結(jié)碳化硅零部件等產(chǎn)品，用于刻蝕設(shè)備的實(shí)體碳化硅零部件產(chǎn)品聚焦環(huán)已取得研發(fā)突破，進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段。

浙江六方半導(dǎo)體科技有限公司

浙江六方半導(dǎo)體科技有限公司成立于2018年，專注于半導(dǎo)體新材料研發(fā)及生產(chǎn)的企業(yè)，為半導(dǎo)體關(guān)鍵上道工藝（長晶、外延、刻蝕等）提供半導(dǎo)體涂層產(chǎn)品，主要產(chǎn)品為 LED芯片外延用SiC涂層基座、化合物半導(dǎo)體涂層組件、硅單晶外延基座、新一代光伏用涂層部件、SiC聚焦環(huán)等。3月23日，由六方科技創(chuàng)始人何少龍牽頭主持的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“高端功能與智能材料”重點(diǎn)專項(xiàng)“大尺寸超高純超厚立方相碳化硅材料制備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目啟動會暨實(shí)施方案論證會順利舉行。該項(xiàng)目聚焦于刻蝕設(shè)備所需的聚焦環(huán)和快速熱處理設(shè)備所需的邊緣環(huán)，深入研究大尺寸超高純超厚CVD-SiC材料生長方法、部件精密加工技術(shù)、服役性能與失效機(jī)理，同時開展產(chǎn)業(yè)驗(yàn)證與全產(chǎn)業(yè)鏈應(yīng)用研究，解決 CVD-SiC精密部件的國產(chǎn)化難題，關(guān)系到國家優(yōu)先發(fā)展的重點(diǎn)領(lǐng)域。

深圳云在上半導(dǎo)體材料公司

深圳云在上半導(dǎo)體材料有限公司是一家專注于半導(dǎo)體核心材料與零部件研發(fā)和生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，是省重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)。2019年，公司切入半導(dǎo)體芯片行業(yè)的產(chǎn)業(yè)鏈，通過海外并購和自主研發(fā)并行的模式，迅速占領(lǐng)Fab領(lǐng)域高端客戶市場，與韓國頭部企業(yè)FST與KSTE得益于前期合作與共同開發(fā)，積極布局半導(dǎo)體芯片設(shè)備和關(guān)鍵材料并實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，云在上用三年時間完成從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)鏈的整合，成功研發(fā)出靜電吸盤與碳化硅聚焦環(huán)兩款產(chǎn)品，目前，已與國內(nèi)頭部芯片廠商結(jié)成戰(zhàn)略合作伙伴。2024年5月份，公司與老河口市政府簽訂了《云在上碳化硅產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目投資協(xié)議》，項(xiàng)目投資10億元，主要生產(chǎn)芯片中的關(guān)鍵耗材。

凱樂士股份有限公司（Kallex Company,Ltd.）

凱樂士股份有限公司（Kallex Company,Ltd.）成立于1996年，碳化硅(SiC)的及其他各種精密陶產(chǎn)品的研發(fā)和制造。目前的產(chǎn)品主要應(yīng)用于耐磨損，耐腐蝕，耐高溫，耐電漿轟擊，高導(dǎo)熱，高散熱，低污染，壽命長等一種或同時數(shù)種以上各式嚴(yán)苛要求之環(huán)境的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。凱樂士備有各種型式規(guī)格碳化硅聚焦環(huán)，且可客制化制作。

軒運(yùn)科技有限公司

軒運(yùn)科技有限公司（Max Luck Technology Inc.），成立于2015年4月，是半導(dǎo)體設(shè)備零件專業(yè)設(shè)計(jì)、制造及銷售廠商。軒運(yùn)科技獨(dú)家代理國際半導(dǎo)體制程與設(shè)備改良改善方案CIP（Continuous Improvement Process）能力，產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體前端設(shè)備的耗材翻修及模組代工，解決客戶良率提升、延長使用壽命和縮短等待時間。

Semicorex

Semicorex是化學(xué)氣相沉積(CVD)碳化硅涂層產(chǎn)品的供應(yīng)商，提供各種高質(zhì)量產(chǎn)品，例如碳化硅涂層石墨基座、碳化硅涂層、深紫外外延基座、CVD襯底加熱器、CVD碳化硅晶圓載體、晶圓舟以及半導(dǎo)體元件和碳化硅陶瓷產(chǎn)品等。Semicorex CVD SiC 聚焦環(huán)經(jīng)過精細(xì)沉積和機(jī)械加工，以獲得最終產(chǎn)品。

來源：

化合物半導(dǎo)體洞察：半導(dǎo)體設(shè)備碳化硅（SiC）零部件行業(yè)研究報(bào)告

各企業(yè)官網(wǎng)、武漢經(jīng)開區(qū)、企業(yè)招股書

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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