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*本文轉載自中國科大理化科學實驗中心微信公眾號

（原標題：中心首臺國產(chǎn)高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡順利通過驗收）

近日，中國科大理化科學實驗中心電鏡影像平臺購置的國儀量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X在中心調試完畢，各項指標符合要求，順利通過專家組聯(lián)合驗收。該設備于11月22日投入試運行，試運行期間校內(nèi)用戶免費。

驗收結束后，國儀量子代表正式遞交售后服務承諾書。

儀器位于中國科大中區(qū)理化科學實驗中心一樓128房間，有需要的用戶可登中國科學技術大學理化實驗中心網(wǎng)站進行預約。

國儀量子原位高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X為國儀量子技術（合肥）股份有限公司自主研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡，該設備具有穩(wěn)定的電子光學系統(tǒng)，通過電子光學鏡筒設計優(yōu)化，綜合像差大大降低，實現(xiàn)了超高分辨率。擁有鏡筒內(nèi)高壓隧道模式，可在低壓下直接對高低起伏的不導電樣品進行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進納米結構和納米材料的研究、高端芯片半導體的研發(fā)制造等領域發(fā)揮其性能優(yōu)勢，可觀察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像，同時可進行X射線能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學性能測試。配備了空氣敏感樣品轉移系統(tǒng)，可對空氣敏感樣品進行形貌、EDS及EBSD表征。

主要參數(shù)

• 二次電子圖像分辨率：0.6 nm @ 15 KV ，1.0 nm @ 1 KV

• 放大倍數(shù)：1x～2,500,000x

• 加速電壓：20V～30 kV

• 能譜儀（牛津AZtecLive UltimMax100 X）：分辨率（MnKa）127 eV，分析元素范圍：5B ～ 92U

• 電子背散射衍射儀（牛津Symmetry S3）: 高速低噪音CMOS相機，分辨率1244*1024;在線解析最高標定速度5700點/秒, 取向精度0.01度 

• 原位納米壓痕系統(tǒng)（牛津FT-NMT04）: 20mN力傳感器,載荷分辨率: ≤50 nN （噪音值）；最大壓痕深度25μm,位移分辨率: ≤0.05 nm（噪音值）；最大納米壓痕點陣測量面積：10mm x 10mm；最大疲勞測試頻率：500Hz

應用案例

形貌像：

空氣敏感樣品轉移系統(tǒng)：純Li氣氛保護前后樣品形貌：

低活化鐵素體/馬氏體鋼晶粒取向圖：

單晶Si微柱壓縮動畫：