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PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個(gè)三維壓電驅(qū)動(dòng)的樣品臺和一個(gè)納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺的驅(qū)動(dòng)下，達(dá)到超過5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區(qū)域準(zhǔn)確對準(zhǔn)力探針。

力探針同樣由壓電驅(qū)動(dòng)，在軸向達(dá)到100 um的伸縮長度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配，達(dá)到很好的測量效果。通過搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，該產(chǎn)品還可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

PicoFemto NI-100 SEM納米力測量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表