激光合成波長(zhǎng)納米位移測(cè)量干涉儀的研制

編號(hào)：CSJS00195

篇名：激光合成波長(zhǎng)納米位移測(cè)量干涉儀的研制

作者：嚴(yán)利平

關(guān)鍵詞：納米級(jí)精度 位移測(cè)量 合成波長(zhǎng) 干涉儀 激光 細(xì)分原理 干涉條紋 微小位移

機(jī)構(gòu)：

摘要： 本文采用合成波長(zhǎng)干涉條紋細(xì)分原理,提出激光合成波長(zhǎng)納米位移測(cè)量干涉儀的研制,以檢測(cè)參考鏡毫米或微米級(jí)的位移來(lái)表征測(cè)量鏡納米級(jí)的微小位移,并利用單波長(zhǎng)干涉信號(hào)作為標(biāo)記參考信號(hào),在同一干涉儀中實(shí)現(xiàn)了毫米量程測(cè)量范圍和納米級(jí)精度位移的同時(shí)測(cè)量,且具有米溯源性。