石墨平臺微結構的納米級紅外光譜表征

編號：CPJS04829

篇名：石墨平臺微結構的納米級紅外光譜表征

作者：史云勝[1,2] ;劉秉琦[1] ;楊興[2,3]

關鍵詞：微機電器件 紅外光譜 納米級 石墨微結構

機構： [1]軍械工程學院電子與光學工程系,石家莊050003; [2]清華大學精密儀器系,北京100084; [3]清華大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室,北京100084

摘要： 具有原子級光滑平面的石墨平臺微結構是實現(xiàn)特殊功能微機電器件、微系統(tǒng)的重要基礎。石墨微結構的化學信息表征對微機電器件、微系統(tǒng)的制備及性能有著重要的意義。先使用原子力顯微鏡獲得形貌信息,再使用納米級紅外光譜對微結構的不同區(qū)域進行表征,獲得了多個特征位置的紅外光譜。通過對紅外光譜的分析發(fā)現(xiàn)相對于其他位置,石墨平臺表面具有非常有序的碳六元環(huán)結構,并且吸附的水分子最少。而石墨平臺微結構的邊緣由于懸鍵及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破壞已經(jīng)不具有碳六元環(huán)結構。這些信息為了解微結構的化學狀態(tài)提供了幫助,明確所處環(huán)境對石墨平臺微結構不同位置的影響,能夠指導微機電器件的制備與應用。