單晶石英表面低損傷的摩擦誘導納米加工研究

編號：FTJS06635

篇名：單晶石英表面低損傷的摩擦誘導納米加工研究

作者：宋晨飛 ;錢林茂

關鍵詞：納米加工 納米壓印 基體材料 高分辨率 表面加工 接觸壓力 誘導方法 探針技術(shù) 加工點 透射電鏡

機構(gòu)： 西南交通大學

摘要： 基于其優(yōu)異的物理化學性質(zhì)、良好的絕緣性以及高硬度高耐磨性,單晶石英廣泛應用于光柵、納米壓印模板等高精密產(chǎn)品的基體材料。當前單晶石英的納米加工技術(shù)面臨著分辨率難以提升,過程復雜等技術(shù)瓶頸,而且石英表面加工損傷會顯著影響石英器件的服役行為,因此,亟待研究提出高分辨率、簡捷、低損傷的石英表面納米加工方法。