基于納米壓痕測(cè)試的激光晶體光學(xué)加工性能研究

編號(hào)：CPJS05174

篇名：基于納米壓痕測(cè)試的激光晶體光學(xué)加工性能研究

作者：陳賢華[1,2] ;謝瑞清[2] ;侯晶[3] ;汪圣飛[3] ;張哲[2] ;趙世杰[2] ;廖德鋒[2]

關(guān)鍵詞：激光晶體 光學(xué)加工 納米壓痕 力學(xué)特性

機(jī)構(gòu)： [1]長(zhǎng)春理工大學(xué),長(zhǎng)春130022; [2]中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心,綿陽(yáng)621900; [3]哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院,哈爾濱150001

摘要： 針對(duì)高功率固體激光器中使用的四類重要激光晶體（YAG、LBO、YCOB、KDP）元件，開(kāi)展了晶體材料的光學(xué)加工性能研究�；�于納米壓痕測(cè)試實(shí)驗(yàn)，研究了幾種激光晶體材料在激光器實(shí)際使用晶向角度下的的表面力學(xué)特性差異，獲得了載荷、彈性模量、壓痕硬度等參數(shù)與壓痕深度之間的變化規(guī)律；利用超景深顯微鏡及場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡觀察了激光晶體表面的納米壓痕形貌，揭示了裂紋形貌隨壓力載荷的演變規(guī)律以及晶體材料力學(xué)各向異性現(xiàn)象。以熔石英材料為參照，從力學(xué)特性角度橫向?qū)Ρ攘藥追N激光晶體材料獲得超光滑表面的光學(xué)加工難易程度。