沉積溫度對VC納米薄膜摩擦學性能的影響

編號：NMJS06374

篇名：沉積溫度對VC納米薄膜摩擦學性能的影響

作者：徐強[1] ;楊光敏[2,3] ;秦宏宇[1] ;白繼鵬[3]

關鍵詞： 基底溫度 薄膜 摩擦學性能 碳化釩納米薄膜

機構： [1]長春工程學院勘查與測繪工程學院,長春130022; [2]長春師范大學物理學院,長春130032; [3]吉林大學材料科學與工程學院,長春130012

摘要： 采用磁控濺射技術沉積碳化釩（VC）納米薄膜,研究溫度對VC薄膜的微觀結構、力學及摩擦磨損性能的影響,并分析其內在關系.結果表明,沉積溫度升高對VC薄膜的相結構和摩擦系數(shù)影響較小,有利于降低薄膜中的應力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.