基于納米化聚酰亞胺材料的MEMS濕度傳感器的研究

編號(hào)：SBJS00645

篇名：基于納米化聚酰亞胺材料的MEMS濕度傳感器的研究

作者：雷程[1,2] ;唐力程[1,2] ;毛海央[2,3] ;王巖[2,3] ;王玲[4] ;胡建東[4] ;歐文[2,3] ;熊繼軍[1]

關(guān)鍵詞： 濕度傳感器 靈敏度 聚酰亞胺 納米化 等離子體技術(shù) 亞胺化

機(jī)構(gòu)： [1]中北大學(xué),電子測(cè)試技術(shù)國(guó)防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,山西太原030051; [2]中國(guó)科學(xué)院微電子研究所智能感知研發(fā)中心,北京100029; [3]江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心,智能集成傳感器中心,江蘇無錫21

摘要： 針對(duì)現(xiàn)有的MEMS濕度傳感器制備工藝復(fù)雜、靈敏度較低等問題,文中報(bào)道了一種基于納米化聚酰亞胺材料的MEMS濕度傳感器,該器件的感濕材料是利用等離子技術(shù)對(duì)聚酰亞胺進(jìn)行表面修飾制備的,該方法簡(jiǎn)單且與CMOS工藝兼容。同時(shí)文中對(duì)同樣結(jié)構(gòu)基于亞胺化聚酰亞胺材料和納米化聚酰亞胺材料的兩種器件在不同濕度條件下的電容響應(yīng)特性進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)試結(jié)果表明,在相對(duì)濕度50%~80%范圍內(nèi),基于納米化聚酰亞胺材料的器件靈敏度高于同樣結(jié)構(gòu)基于亞胺化聚酰亞胺材料器件約50%。