飛秒激光燒蝕納米孿晶金剛石的研究

編號：CPJS06195

篇名：飛秒激光燒蝕納米孿晶金剛石的研究

作者：陳俊云 李召陽 王海東

關(guān)鍵詞： 納米孿晶金剛石 飛秒激光 微槽 輪廓

機(jī)構(gòu)： 燕山大學(xué)車輛與能源學(xué)院

摘要： 納米孿晶金剛石(ntD)材料不僅具有遠(yuǎn)高于單晶金剛石的硬度,還擁有各向同性、無解理、韌性及高溫穩(wěn)定性好等優(yōu)越性能,是硬脆材料進(jìn)行超精密切削時(shí)的理想刀具的材料,但是超高的硬度和高溫穩(wěn)定性等特征限制了該材料的廣泛應(yīng)用。為了解決ntD材料的高效率成形和加工問題,通過理論分析和實(shí)驗(yàn)研究了飛秒激光加工中ntD材料的去除過程、微槽加工輪廓預(yù)測、加工工藝等內(nèi)容。建立等效脈沖數(shù)模型,用于理論計(jì)算不同工藝參數(shù)對應(yīng)的閾值能流密度和實(shí)際能流密度。最后通過ntD刀具的輪廓加工驗(yàn)證了飛秒激光技術(shù)在ntD材料高效率成形加工中的有效性及文中工藝參數(shù)研究的合理性。