藍寶石襯底上石墨烯的制備研究

編號：NMJS07123

篇名：藍寶石襯底上石墨烯的制備研究

作者：鄒偉 李多生 洪躍 葉寅 林奎鑫 熊財梓

關鍵詞： 化學氣相沉積 石墨烯 藍寶石 刻蝕

機構： 南昌航空大學材料科學與工程學院

摘要： 開展了化學氣相沉積(CVD)法在藍寶石襯底上直接生長石墨烯的制備研究和模擬研究,研究襯底表面形貌和生長溫度對石墨烯的影響。運用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)、場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)、拉曼光譜(Raman)、高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)等對石墨烯生長開展了微結(jié)構研究。模擬研究發(fā)現(xiàn),氫氣對襯底表面形貌具有重要影響,在H原子的作用下Al—O鍵被拉長了51.42%,近乎斷裂,因而對藍寶石襯底的表面粗糙度產(chǎn)生影響。實驗發(fā)現(xiàn)H2對藍寶石襯底有刻蝕作用,刻蝕后的藍寶石襯底表面粗糙度Ra變大,不易于石墨烯生長。隨著生長溫度的升高,生長的石墨烯質(zhì)量也逐漸變好。