基片表面應(yīng)力對類石墨復(fù)合膜性能的影響

編號：FTJS07251

篇名：基片表面應(yīng)力對類石墨復(fù)合膜性能的影響

作者：宇文江濤 王佐平 張亞娟 王育召 丁超 龍曉云 符昊

關(guān)鍵詞： 非平衡閉合磁控濺射 類石墨復(fù)合膜 基片 壓應(yīng)力 摩擦學(xué)性能

機構(gòu)： 中國船舶重工集團(tuán)西安船舶工業(yè)有限公司 中國船舶重工集團(tuán)公司第十二研究所

摘要： 試樣基片經(jīng)常規(guī)滲碳、淬火及不同的表面處理后,應(yīng)用非平衡閉合磁控濺射技術(shù)在其表面鍍制類石墨復(fù)合膜,分析不同基片應(yīng)力狀態(tài)下復(fù)合膜的組織和性能,研究基片表面不同應(yīng)力狀態(tài)對類石墨復(fù)合膜性能的影響。結(jié)果表明:表面應(yīng)力狀態(tài)對類石墨復(fù)合膜的形貌、成分、成膜速度及綜合性能有一定的影響,適當(dāng)?shù)膲簯?yīng)力可以有效改善類石墨復(fù)合膜的摩擦學(xué)性能。