CuO-TiO2氣敏材料的制備及其低溫丙酮氣敏特性研究

編號：FTJS08073

篇名：CuO-TiO2氣敏材料的制備及其低溫丙酮氣敏特性研究

作者：鄭潔 潘國峰 韓楠 肖悅 王如

關(guān)鍵詞： 氧化銅 二氧化鈦 丙酮 工作溫度 光激發(fā) 氣敏性能

機(jī)構(gòu)： 河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院天津市電子材料與器件重點實驗室

摘要： 采用溶膠-凝膠法制備了CuO摻雜TiO2納米材料并用于丙酮氣敏傳感器制備,通過XRD和SEM對樣品的物相結(jié)構(gòu)和表面微觀形貌進(jìn)行表征,利用 EDS對樣品的元素種類與平面分布進(jìn)行了分析,研究了CuO摻雜量、工作溫度、光激發(fā)等對元件氣敏性能的影響。結(jié)果表明,CuO-TiO2對丙酮表現(xiàn)出良好的選擇性,摻雜6.6%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))CuO的CuO-TiO2,經(jīng)500℃退火后,在75℃下,對體積分?jǐn)?shù)為1000×10^-6丙酮的靈敏度達(dá)到106.71,響應(yīng)時間和恢復(fù)時間均為2s;同時研究還顯示光激發(fā)可以有效提高元件的氣敏性能,紫外光照射下元件對丙酮的靈敏度相比無光條件下增幅95%,而可見光照射下元件對丙酮的靈敏度相比無光條件下仍能增幅50%。