基于AFM納米機械刻劃加工納米結(jié)構(gòu)及應用

編號：CYYJ02212

篇名：基于AFM納米機械刻劃加工納米結(jié)構(gòu)及應用

作者：王繼強 耿延泉 閆永達

關鍵詞： AFM 納米加工 納流控 拉曼檢測 納米線

機構(gòu)： 哈爾濱工業(yè)大學微系統(tǒng)與微結(jié)構(gòu)制造教育部重點實驗室

摘要： 原子力顯微鏡(AFM)是具有納米級精度的檢測設備,同時可應用于納米結(jié)構(gòu)的加工。AFM納米加工已經(jīng)成為微納結(jié)構(gòu)加工的有效方法之一,可廣泛地應用于機械、物理、化學和生物醫(yī)學等領域。文章首先簡要介紹傳統(tǒng)微納加工方法,并對基于AFM的納米機械加工方法進行詳細介紹并分析了其相對優(yōu)勢;然后介紹了AFM加工得到的納米溝槽和納米點陣等結(jié)構(gòu)在納流控及拉曼檢測等領域的應用,并對其未來的發(fā)展方向進行展望。綜述展示了AFM納米機械加工的應用潛力,為相關領域的研究提供了一種簡單、可行的納米加工方法。