氮化鋁基板上厚膜電阻性能分析

編號：CYYJ02348

篇名：氮化鋁基板上厚膜電阻性能分析

作者：郝沄 李創(chuàng) 吳鑫 袁海 任英哲 楊春燕

關鍵詞： ALN 厚膜電阻 電阻設計 溫度系數(shù) 阻值穩(wěn)定性

機構： 西安微電子技術研究所

摘要： 在AlN基板上,使用IKTS電阻漿料制作了4種方阻的厚膜電阻,確定了AlN基板用電阻的阻值與設計方數(shù)的關系,推算出了不同方數(shù)下的電阻設計比例。測試了電阻的溫度系數(shù),測量結果均小于150×10-6/℃。使用激光調值機對4種方阻的電阻進行調值,經(jīng)150 ℃、1 000 h高溫存儲,阻值變化率<1.5%。