籽晶類型對(duì)高效多晶硅鑄錠質(zhì)量的影響

編號(hào)：CYYJ02517

篇名：籽晶類型對(duì)高效多晶硅鑄錠質(zhì)量的影響

作者：劉世龍 周耐根 劉淑慧

關(guān)鍵詞： 籽晶 多晶硅 少子壽命 位錯(cuò)密度

機(jī)構(gòu)： 江蘇美科硅能源有限公司 南昌大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院

摘要： 在相同的爐臺(tái)、坩堝和鑄錠條件下,對(duì)比研究了半圓柱形致密原生多晶硅棒料和多晶硅顆粒料作為籽晶對(duì)高效多晶硅鑄錠質(zhì)量的影響。通過(guò)光致發(fā)光(PL)圖、少數(shù)載流子壽命、化學(xué)金相腐蝕等方式分析了兩種籽晶下鑄錠的質(zhì)量。結(jié)果表明:致密原生多晶硅棒料作為籽晶具有一定的形核優(yōu)勢(shì),尾料底部沒(méi)有空洞,晶粒垂直性、晶粒均勻性相對(duì)較好;少數(shù)載流子壽命圖譜均勻性相對(duì)較好,平均少數(shù)載流子壽命高0.32μs,從多晶硅錠底部到頭部的位錯(cuò)密度比多晶硅顆粒料作為籽晶時(shí)要低。