超聲波精細(xì)霧化拋光石英玻璃的拋光液研制

編號(hào)：FTJS08897

篇名：超聲波精細(xì)霧化拋光石英玻璃的拋光液研制

作者：苑曉策 李慶忠 楊思遠(yuǎn)

關(guān)鍵詞： 化學(xué)機(jī)械拋光 精細(xì)霧化 石英玻璃 拋光液 正交試驗(yàn)

機(jī)構(gòu)： 江南大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院

摘要： 為了配制適用于JGS1光學(xué)石英玻璃超聲波精細(xì)霧化拋光的特種拋光液,以材料去除率和表面粗糙度為評(píng)價(jià)指標(biāo),設(shè)計(jì)正交試驗(yàn)探究拋光液中各組分含量對(duì)霧化拋光效果的影響,并對(duì)材料去除機(jī)制進(jìn)行簡(jiǎn)要分析。結(jié)果表明:各因素對(duì)材料去除率的影響程度由大到小分別為SiO2、pH值、絡(luò)合劑、助溶劑和表面活性劑,對(duì)表面粗糙度影響程度的順序?yàn)镾iO2、表面活性劑、pH值、助溶劑和絡(luò)合劑;當(dāng)磨料SiO2質(zhì)量分?jǐn)?shù)為19%,絡(luò)合劑檸檬酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1􀆰4%,助溶劑碳酸胍質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0􀆰2%,表面活性劑聚乙烯吡咯烷酮質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0􀆰9%,pH值為11時(shí),霧化拋光效果最好,材料去除率為169􀆰5 nm/min,表面粗糙度為0􀆰73 nm;去除過程中石英玻璃在堿性環(huán)境下與拋光液發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成低于本體硬度的軟質(zhì)層,易于通過磨粒機(jī)械作用去除。使用該拋光液進(jìn)行傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光和霧化化學(xué)機(jī)械拋光,比較兩者的拋光效果。結(jié)果表明:兩者拋光效果接近,但超聲霧化方式拋光液用量少,僅為傳統(tǒng)拋光方式的1/7。