金剛石薄膜制備及加工技術(shù)研究進展

編號：FTJS10579

篇名：金剛石薄膜制備及加工技術(shù)研究進展

作者：王光祖 張相法 位星 王永凱 王大鵬

關(guān)鍵詞： 金剛石 薄膜 化學(xué)氣相沉積 影響因素 研磨

機構(gòu)： 鄭州磨料磨具磨削研究所 鄭州中南杰特超硬材料有限公司

摘要： 金剛石薄膜具有導(dǎo)熱率高、彈性模量大、沉積速度快、化學(xué)穩(wěn)定性好、耐腐蝕等優(yōu)勢,在工業(yè)廢水處理、生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)涂層、電子電氣、切削刀具等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。文章綜述了在低微波功率下襯底的預(yù)處理方法、沉積氣壓、流量比等因素對化學(xué)氣相沉積制備高質(zhì)量的金剛石薄膜的影響,介紹了游離磨料研磨過程中驅(qū)動方式及工藝參數(shù)等對加工后工件的平面度和粗糙度的影響,并探討了其他多種研磨方式來實現(xiàn)對多晶金剛石片均勻性研磨,為廣大學(xué)者進一步研究及應(yīng)用提供參考。