CVD法合成的無定型納米粉體的晶化

編號：NMJS00028

篇名：CVD法合成的無定型納米粉體的晶化

作者：陸忠乾 江東亮 譚壽洪 嚴(yán)東生

關(guān)鍵詞：化學(xué)氣相沉積法，納米，晶化，無定型，碳化硅

機(jī)構(gòu)： 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

摘要： 以六甲基二硅氨烷(HMDS)為原料，采用CVD方法，在不同溫度下合成的粉體，經(jīng)XRD測定，確定為無定型.經(jīng)不同溫度晶化處理后，發(fā)現(xiàn)1000℃時合成粉體隨著晶化溫度的提高，顆粒長大并變長，接近啞鈴狀.經(jīng)1500℃晶化處理后，顆粒呈晶須狀，而經(jīng)1600℃處理后才完全晶化. 粉體則隨著晶化處理溫度的提高，局部的顆粒長大，溫度愈高，長大的顆粒愈?經(jīng)1500℃晶化處理后，從XRD，TEM及HREM可以看出粉體全部晶化，顆粒的結(jié)晶已非常完整，晶格網(wǎng)絡(luò)清晰可見，顆粒度約為20―40nm，外表面有一層1―2nm的膜包裹.

出處：硅酸鹽學(xué)報1998 01