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            1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)
            1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)

            參考價格

            20-30萬元

            型號

            1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)

            品牌

            中環(huán)

            產地

            天津

            樣本

            暫無
            天津中環(huán)電爐股份有限公司

            金牌會員

            |

            第11年

            |

            生產商

            工商已核實

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            產品用途

            PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

            PECVD系統(tǒng)配置;

            1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐

            2.等離子射頻電源

            3.多路質量流量控制系統(tǒng)

            4.真空系統(tǒng)(單獨購買)

            產品特性;

            電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現(xiàn)快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

            1200xiaopecvdbiao1.png  1200xiaopecvdbiao2.png



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