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        1200度小型PECVD系統(tǒng)
        1200度小型PECVD系統(tǒng)

        參考價(jià)格

        20-30萬(wàn)元

        型號(hào)

        1200度小型PECVD系統(tǒng)

        品牌

        中環(huán)

        產(chǎn)地

        天津

        樣本

        暫無(wú)
        天津中環(huán)電爐股份有限公司

        金牌會(huì)員

        |

        第12年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        產(chǎn)品用途

        PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

        產(chǎn)品組成

        PECVD系統(tǒng)配置;

        1.1200度開(kāi)啟式滑動(dòng)單溫區(qū)真空管式爐

        2.等離子射頻電源

        3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

        4.真空系統(tǒng)(單獨(dú)購(gòu)買(mǎi))

        產(chǎn)品特點(diǎn)

        電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區(qū)域長(zhǎng);整管可調(diào);精致小巧,性價(jià)比高,可實(shí)現(xiàn)快速升降溫,是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。

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        10分

        易用性

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